鎮(zhèn)江氣氛爐參考價(jià)格

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-10

下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術(shù)指標(biāo)。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;5.控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級(jí);9.抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)氣氛爐如何選擇?合肥真萍科技告訴您。鎮(zhèn)江氣氛爐參考價(jià)格

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本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。生產(chǎn)氣氛爐代理公司氣氛爐的功能具體介紹。

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各種氣氛爐的密封性要求高,裝,出料 操作過程復(fù)雜,要求一臺(tái)爐子多用,大批量生產(chǎn)時(shí),多組成大型聯(lián)合熱處理 或者兩用以上的機(jī)組,因而要求有較高的機(jī)械化,自動(dòng)化程度,為了保證氣氛的穩(wěn)定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內(nèi)進(jìn)行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環(huán)爐內(nèi)氣氛的穩(wěn)定。還原氣體和空氣混合達(dá)到一定混合比,在一定溫度下易引起 ,故對(duì)爐子的前,后室,淬火室 以及緩冷室等均設(shè)有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。

下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。選用定制氣氛爐有哪些好處呢?合肥真萍科技為您介紹。

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連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內(nèi)不斷移動(dòng),完成加熱、保溫,有時(shí)包括冷卻在內(nèi)全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機(jī)械機(jī)構(gòu)連續(xù)地或間歇地進(jìn)行裝料和出料,連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高勞動(dòng)生產(chǎn)率和改善勞動(dòng)條件。下面為大家介紹一下連續(xù)爐的產(chǎn)品材質(zhì)和產(chǎn)品特點(diǎn)。一、產(chǎn)品材質(zhì)1.外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼;2.保護(hù)裝置定時(shí)報(bào)警斷電裝置、超溫?cái)嚯?、漏電保護(hù)斷路器、電機(jī)過載保護(hù)。二、產(chǎn)品特點(diǎn)1.雙邊配有鏈條傳動(dòng),解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象;2.烘箱分段式加熱,單獨(dú)電箱控制,方便操作,結(jié)構(gòu)主要由輸送機(jī)系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成,多段單獨(dú);3.PID溫度控制,爐內(nèi)溫度均勻;4.輸送速度變頻調(diào)速,調(diào)節(jié)自如,運(yùn)行平穩(wěn),產(chǎn)能高;5.每段單獨(dú)箱體設(shè)置廢氣排放接口,可外接到車間外面,避免車間廢氣污染。合肥真萍科技的氣氛爐,值得推薦。生產(chǎn)氣氛爐代理公司

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真空烘箱是一種將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的箱體式干燥設(shè)備。它利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),從而降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。一、真空程序分段控制該型號(hào)機(jī)型,抽真空過程可提供程序化編程,只需根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值。相當(dāng)大可實(shí)現(xiàn)18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源;2.產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門;3.打開電源;4.工作溫度設(shè)定好,啟動(dòng)加熱,設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)恒溫狀態(tài);5.真空值和時(shí)間設(shè)定好后,啟動(dòng)真空泵,開始進(jìn)入自動(dòng)抽真空階段;6.到達(dá)時(shí)間值后,真空泵自動(dòng)關(guān)閉。鎮(zhèn)江氣氛爐參考價(jià)格