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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。工業(yè)烤箱哪家便宜?合肥真萍告訴您。小型工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家
下面為大家介紹一下真空干燥箱。它是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。特點(diǎn):1、長(zhǎng)方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2、雙層玻璃視窗觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3、箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。4、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5、儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會(huì)氧化。真空程序分段控制該型號(hào)機(jī)型,抽真空過(guò)程可提供程序化編程,根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值??蓪?shí)現(xiàn)多段抽真空和保壓編程。操作步驟1,接通電源2,產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門3,打開(kāi)電源4,工作溫度設(shè)定好,啟動(dòng)加熱,設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)恒溫狀態(tài)5,真空值和時(shí)間設(shè)定好后,啟動(dòng)真空泵,開(kāi)始進(jìn)入自動(dòng)抽真空階段6,到達(dá)時(shí)間值后,真空泵自動(dòng)關(guān)閉精密工業(yè)烤箱門配件合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱哪家好?
工作原理:空氣循環(huán)系統(tǒng)采用雙電機(jī)水平循環(huán)送風(fēng)方式,風(fēng)循環(huán)均勻高效。風(fēng)源由循環(huán)送風(fēng)電機(jī)(采用無(wú)觸點(diǎn)開(kāi)關(guān))帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)由電熱器,而將熱風(fēng)送出,再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室,再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán),加熱使用。確保室內(nèi)溫度均勻性。當(dāng)因開(kāi)關(guān)門動(dòng)作引起溫度值發(fā)生擺動(dòng),可介此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。老化試驗(yàn)箱采用國(guó)外先進(jìn)的加熱氣流方法,解決了原轉(zhuǎn)盤式的溫度不均勻先天缺陷,同時(shí)提高了試樣放置的安全性,有效空間利用率是原轉(zhuǎn)盤式的200%以上,適用于電子元件,橡膠零部件等材料在高溫下的老化適應(yīng)性試驗(yàn)。
本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,普遍應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。技術(shù)指標(biāo):可靠的測(cè)控系統(tǒng)1溫度控制裝置:進(jìn)口溫控器,內(nèi)置PID自動(dòng)整定,斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置:采用六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。完善的控制系統(tǒng),及安全防護(hù)措施1操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2防護(hù)措施:緊急停止,超溫保護(hù),斷線報(bào)警,相序保護(hù),過(guò)載保護(hù),短路保護(hù),漏電保護(hù),及電磁門禁保護(hù)等。工業(yè)烤箱運(yùn)用再哪些領(lǐng)域?
質(zhì)量連續(xù)爐的產(chǎn)品特性:1、采用智能型溫度控制模塊,PID自動(dòng)演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細(xì)度;2、分段控制(當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時(shí)可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達(dá)到省電效果)3、內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無(wú)塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好);4、整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動(dòng)、自動(dòng)門開(kāi)關(guān)均采用智能控制,防止失誤動(dòng)作;5、當(dāng)實(shí)際檢測(cè)溫度超過(guò)超溫保護(hù)溫控器設(shè)定值時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源,起到雙重保護(hù)功能。工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用?杭州無(wú)塵工業(yè)烤箱
工業(yè)烤箱對(duì)如今市場(chǎng)的影響。小型工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家
電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問(wèn)題,解決線路板受潮問(wèn)題。過(guò)濾系統(tǒng):2.1EBM電子式EC馬達(dá)控制無(wú)塵室FFU。2.2鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。2.3特殊導(dǎo)流風(fēng)道設(shè)計(jì),風(fēng)壓平均,可有效提供風(fēng)量,降低噪音。2.4電路板控制模塊,提供安全保護(hù)裝置,運(yùn)轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點(diǎn)輸出。2.5無(wú)段式風(fēng)量調(diào)速器可任意調(diào)整風(fēng)量大小。2.6濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過(guò)濾效果。2.7電力規(guī)格:?jiǎn)蜗?20V50Hz0.95A,輸出功率150W。小型工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家