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下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。網(wǎng)帶爐的廠家哪個(gè)好?合肥真萍科技告訴您。寧波生產(chǎn)網(wǎng)帶爐專賣
冷熱沖擊試驗(yàn)箱具有模擬大氣環(huán)境中溫度變化規(guī)律的功能。主要針對(duì)于電工,電子產(chǎn)品,以及其元器件及其它材料在高溫,低溫綜合環(huán)境下運(yùn)輸,使用時(shí)的適應(yīng)性試驗(yàn)。用于產(chǎn)品設(shè)計(jì),改進(jìn),鑒定及檢驗(yàn)等環(huán)節(jié)。真萍科技作為冷熱沖擊試驗(yàn)箱設(shè)備制造廠商,在冷熱沖擊試驗(yàn)箱設(shè)備制造領(lǐng)域的專業(yè)性是不用多說(shuō)的。下面讓真萍科技從溫度方面,帶您了解冷熱沖擊試驗(yàn)箱。一、溫度均勻度舊標(biāo)準(zhǔn)稱均勻度,新標(biāo)準(zhǔn)稱梯度。溫度穩(wěn)定后,在任意時(shí)間間隔內(nèi),工作空間內(nèi)任意兩點(diǎn)的溫度平均值之差的較大值。這個(gè)指標(biāo)比下面的溫度偏差指標(biāo)更可以考核產(chǎn)品的**技術(shù),因此好多公司的樣本及方案刻意隱藏此項(xiàng)。一般標(biāo)準(zhǔn)要求指標(biāo)為≤2℃。二、溫度偏差溫度穩(wěn)定后,在任意時(shí)間間隔內(nèi),工作空間中心溫度的平均值和工作空間內(nèi)其它點(diǎn)的溫度平均值之差。雖然新舊標(biāo)準(zhǔn)對(duì)此指標(biāo)的定義和稱呼相同,但檢測(cè)已有所改變,新標(biāo)準(zhǔn)更實(shí)際,更苛刻一點(diǎn),但考核時(shí)間短點(diǎn)。一般標(biāo)準(zhǔn)要求指標(biāo)為±2℃,純高溫試驗(yàn)箱200℃以上可按實(shí)際使用溫度攝氏度(℃)±2%要求。寧波生產(chǎn)網(wǎng)帶爐專賣合肥真萍與您分享網(wǎng)帶爐發(fā)揮的重要作用。
下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。采用鋼化、防彈雙層玻璃門觀察,工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍科技網(wǎng)帶爐值得推薦。
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問(wèn)題,解決線路板受潮問(wèn)題。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦牡獨(dú)獗O(jiān)控系統(tǒng)。1.2.3寸LED大屏幕數(shù)字顯示濕度/溫度。2.溫濕度顯示值0.1%-99.9%RH,溫度顯示值0.1℃-60.0℃。3.溫濕度收集采準(zhǔn)確傳感器,長(zhǎng)距離傳輸無(wú)誤差。4.濕度控制:4.1利用濕度設(shè)定值來(lái)控制氮?dú)饬魅?,到達(dá)濕度設(shè)定值即停止進(jìn)氣,節(jié)省氮?dú)夂挠谩?.2濕度在1%-60%RH可調(diào)整。有哪些領(lǐng)域需要使用網(wǎng)帶爐呢?固化網(wǎng)帶爐非標(biāo)定制
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1.采用智能型溫度控制模塊,PID自動(dòng)演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細(xì)度;2.分段控制(當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時(shí)可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達(dá)到省電效果)3.內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無(wú)塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好);4.整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動(dòng)、自動(dòng)門開關(guān)均采用智能控制,防止失誤動(dòng)作;5.當(dāng)實(shí)際檢測(cè)溫度超過(guò)超溫保護(hù)溫控器設(shè)定值時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源,起到雙重保護(hù)功能。寧波生產(chǎn)網(wǎng)帶爐專賣