一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min,在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。網(wǎng)帶爐的運作原理是什么?燒結(jié)網(wǎng)帶爐生產(chǎn)商
超高真空烘箱廣泛應用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應性與可靠性試驗。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的主要技術(shù)指標。1.工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2.溫度波動度:±1.0℃(空載);3.溫度偏差:常壓溫度試驗:常溫~200℃時±2℃200~300℃時±5.0℃低氣壓高溫綜合試驗:≤100℃時±2.0℃,100℃~200℃時±5.0℃200℃~300℃時±7.0℃。上海固化網(wǎng)帶爐價格多少上海哪家網(wǎng)帶爐值得信賴?
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運動器材、汽車零配件、電機、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預熱回火、退火、老化等的加工制作。下面為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品特點。1.雙邊配有鏈條傳動,解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象;2.烘箱分段式加熱,單獨的電箱控制,方便操作。結(jié)構(gòu)主要由輸送機系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成,多段單獨的;3.PID溫度控制,爐內(nèi)溫度均勻;4.輸送速度變頻調(diào)速,調(diào)節(jié)自如,運行平穩(wěn),產(chǎn)能高;5.每段單獨的箱體設(shè)置廢氣排放接口,可外接到車間外面,避免車間廢氣污染。
本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。上海哪家的網(wǎng)帶爐比較好?
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。網(wǎng)帶爐,有哪些好處值得選擇?合肥固化網(wǎng)帶爐批發(fā)
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真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實用。2.外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵。3.內(nèi)膽材料:采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產(chǎn)生。4.保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費。5.電熱部分:采用進口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器。6.風道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風的方式由左向右送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A,(特殊風道設(shè)計)過濾效果可達99.99%,Class100。燒結(jié)網(wǎng)帶爐生產(chǎn)商