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潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。對(duì)于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。(2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干。對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥(層流)潔凈室≥,但認(rèn)為應(yīng)區(qū)別不同情況分出不同的檔別,更能體現(xiàn)節(jié)能的目的。 潔凈室的潔凈要求是多少?找上海中沃。臺(tái)州千級(jí)潔凈室
按氣流的流動(dòng)狀態(tài)分根據(jù)氣流的流動(dòng)狀態(tài)分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室[1]:(1)非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn):終端過(guò)濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口,也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上;回風(fēng)口均設(shè)在潔凈室的下部,目的是避免出現(xiàn)“揚(yáng)灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級(jí)的潔凈室中。(2)單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。(3)矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形高效過(guò)濾器,也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長(zhǎng)比一般在。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)(100級(jí))潔凈度。潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實(shí)際應(yīng)用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”(一側(cè)敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型。 常州噴油潔凈室什么是潔凈室?找上海中沃。
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以***。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)比較好溫度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。
潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn):1風(fēng)量大潔凈室主要是通過(guò)空氣量的循環(huán)來(lái)過(guò)濾空氣中的塵埃、細(xì)菌等,實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣中非生物粒子和生物粒子的控制,達(dá)到潔凈的標(biāo)準(zhǔn)。因此需要有足夠的風(fēng)量來(lái)保證室內(nèi)的潔凈度。潔凈室的風(fēng)量一般按照室內(nèi)換氣次數(shù)來(lái)計(jì)算,通常是10倍,甚至幾十倍,尤其是單向流潔凈室,換氣次數(shù)達(dá)到房間體積的幾百倍。2風(fēng)機(jī)的壓頭高潔凈室一般至少要采用初、中、高三級(jí)過(guò)濾器過(guò)濾,而這三級(jí)過(guò)濾器的阻力加起來(lái)就有700~800帕左右,潔凈室一般也要采用集中送、回風(fēng)的方式,以保證維持潔凈室的正負(fù)壓調(diào)節(jié)的要求,所以潔凈室的管道阻力一般比普通空調(diào)的要多一倍以上。需要克服這些阻力,就要求空氣處理機(jī)組的送風(fēng)機(jī)有足夠的壓頭,所以潔凈室的空氣處理機(jī)組的送風(fēng)機(jī)組一般采用后彎?rùn)C(jī)翼型的風(fēng)機(jī),或者是無(wú)窩殼的風(fēng)機(jī)。 三十萬(wàn)級(jí)潔凈室廠家?上海中沃提供定制服務(wù)。
潔凈室設(shè)計(jì)規(guī)范是什么潔凈室系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范
在潔凈室內(nèi)建造十分完善的系統(tǒng),可以充分保證生產(chǎn)加工過(guò)程中的潔凈度。任何設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)的變化,必將對(duì)潔凈室的質(zhì)量產(chǎn)生特殊效果。以下這十五個(gè)因素將決定一個(gè)潔凈室在施工方面的費(fèi)用。這項(xiàng)花費(fèi)可能在每平方英尺1 80美元到2.800美元之間(要看是不是包括工具以及裝配和工藝設(shè)備的費(fèi)用)。
愛斯基摩人能夠用很多的詞匯來(lái)描繪雪,而我們中建南方對(duì)于潔凈只有一個(gè)單詞和明確的價(jià)格來(lái)說(shuō)明它。我們常常發(fā)現(xiàn),客戶會(huì)支付很高的設(shè)計(jì)費(fèi)用,為了一個(gè)超出其工藝要求的潔凈室而支付無(wú)謂的費(fèi)用。
潔凈室的設(shè)計(jì)和施工通常是在非常緊張的時(shí)間限定下完成的,可供選擇、改變、和其他可行性改進(jìn)的機(jī)會(huì)很少。 浙江潔凈室廠家?找上海中沃。噴油潔凈室凈化設(shè)備
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1無(wú)塵車間的平面布局無(wú)塵車間一般包括無(wú)塵區(qū)、準(zhǔn)無(wú)塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無(wú)塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法:外廊盤繞式:外廊能夠有窗和無(wú)窗,兼作觀賞和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。內(nèi)廊式:無(wú)塵車間設(shè)在**,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的無(wú)塵度等級(jí)一般都較高,乃至和無(wú)塵車間同級(jí)。兩頭式:無(wú)塵區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)無(wú)塵和輔佐用房。中心式:為了節(jié)省用地、縮短管線,能夠無(wú)塵區(qū)為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái),這種方法避開室外氣候?qū)o(wú)塵區(qū)的影響,削減了冷熱能耗,利于節(jié)能。2人員凈化道路為了在操作中盡量削減人活動(dòng)發(fā)生的污染,人員在進(jìn)入無(wú)塵區(qū)之前,有必要替換無(wú)塵服并洗手、消毒、過(guò)風(fēng)淋。這些措施即;人員凈化。人員凈化用房中替換無(wú)塵服的房間應(yīng)予送風(fēng),并對(duì)進(jìn)口側(cè)等其他房間堅(jiān)持正壓,對(duì)廁所、淋浴堅(jiān)持少量正壓,而廁所、淋浴應(yīng)堅(jiān)持負(fù)壓。3物料凈化道路各種物件在送入無(wú)塵區(qū)前有必要通過(guò)凈化處理,簡(jiǎn)稱;物凈。物料凈化道路與人凈道路應(yīng)分隔,如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入無(wú)塵車間,也有必要分門而入,物料先通過(guò)粗凈化處理。關(guān)于出產(chǎn)流水線不強(qiáng)的場(chǎng)合在物料道路中心可設(shè)中心庫(kù)。 臺(tái)州千級(jí)潔凈室