頻率響應(yīng)頻率響應(yīng)本質(zhì)上是設(shè)備在給定頻率下響應(yīng)輸入信號的速度指示。壓電系統(tǒng)對命令信號響應(yīng)迅速,具有更高的諧振頻率,產(chǎn)生更快的響應(yīng)速率以及更高的穩(wěn)定性和帶寬。然而,應(yīng)注意的是,納米定位設(shè)備的諧振頻率會受到施加負載的影響,負載的增加會降低諧振頻率,從而降低納米定位器的速度和精度。4.穩(wěn)定和上升時間納米定位系統(tǒng)能在短距離內(nèi)進行高速位移。這意味著穩(wěn)定時間是關(guān)鍵因素。這里的時間指的是,在隨后拍攝圖像或測量之前,運動速度降低到可接受水平時所需的時長。相比之下,上升時間是納米定位平臺在兩個命令點之間移動的時間間隔;通常比穩(wěn)定時間快得多,重要的是,上升時間不包括納米定位平臺穩(wěn)定所需的時間。這兩個因素都會影響產(chǎn)品準(zhǔn)確性和可重復(fù)性,應(yīng)包含在任何系統(tǒng)規(guī)范中。5.數(shù)字控制解決頻率響應(yīng)以及穩(wěn)定和上升時間的挑戰(zhàn)在很大程度上取決于系統(tǒng)控制器的正確選擇。如今,我們的產(chǎn)品都是比較先進的數(shù)字設(shè)備,集成了精密電容式傳感機制,能夠在亞微米位置精度和高速下實現(xiàn)出色的控制。 壓電納米定位臺具有移動面。壓電陶瓷微動裝備
在傳統(tǒng)的磁性硬盤中,讀取頭需要不斷地尋道和定位,通過壓電納米定位臺的精細調(diào)整可以實現(xiàn)讀取頭的精確定位和快速尋道,提高數(shù)據(jù)讀取的速度和效率,并且大幅度減少數(shù)據(jù)讀取的誤差。壓電納米定位臺實現(xiàn)更快的數(shù)據(jù)讀取速度:壓電納米定位臺可以實現(xiàn)對光學(xué)讀寫頭的微小調(diào)節(jié),以達到更高的讀寫精度。同時,通過壓電陶瓷的電場作用,可以快速準(zhǔn)確地控制納米機械部件的位移,從而實現(xiàn)更快的數(shù)據(jù)讀取速度。研究表明,使用壓電納米定位臺可以實現(xiàn)高達10TB/squareinch的數(shù)據(jù)存儲密度,這是傳統(tǒng)光學(xué)存儲技術(shù)所不能比擬的。下方為芯明天封裝壓電促動器,它可以產(chǎn)生直線運動,響應(yīng)速度達毫秒級。 壓電納米運動機構(gòu)壓電納米定位臺的命名由它的驅(qū)動源及其功能相結(jié)合而來的。
納米定位平臺的設(shè)計從上面的簡要介紹中可以清楚地看出,為什么只考慮每個軸的共振頻率無法提供納米定位系統(tǒng)性能的準(zhǔn)確圖片。也正因如此,多數(shù)情況下,只有定制系統(tǒng)才能滿足各個應(yīng)用程序的特定要求。例如,必須選擇與應(yīng)用相匹配的共振頻率特性的結(jié)構(gòu)材料和平臺設(shè)計。此計算中的一個關(guān)鍵因素是施加的載荷。這就是為什么我們經(jīng)常在許多數(shù)據(jù)表中關(guān)注負載性能,因為這個標(biāo)準(zhǔn)能更好地反映平臺的實際用途。一般來說,作用在平臺上的負載越大,平臺的共振頻率就越低。我們的高剛度平臺意味著共振頻率受負載變化的影響較小,因此任何動態(tài)調(diào)諧對負載的變化都不太敏感。
帶寬:平臺運動的振幅下降3dB的頻率范圍。它反映了平臺可以跟隨驅(qū)動信號的速度。漂移:位置隨時間的變化,包括溫度變化和其他環(huán)境的影響。漂移可能來自于機械系統(tǒng)和電子設(shè)備。摩擦。摩擦被定義為運動過程中接觸面之間的阻力。因為他們使用彎曲,所以摩擦可能是恒定的或與速度有關(guān)。而Piezoconcept的納米定位器是無摩擦的。滯后:前向掃描和后向掃描之間的定位誤差。閉環(huán)控制是這個問題的理想解決方案,通過使用高分辨率硅傳感器網(wǎng)絡(luò)提供反饋信號來完成。正交性誤差:兩個定義的運動軸的角度偏移,使其相互之間成為正交。它可以被解釋為串?dāng)_的一部分。階躍響應(yīng)時間:階躍響應(yīng)時間是納米定位器從指令值的10%到指令值的90%所需的時間。階躍響應(yīng)時間反映了系統(tǒng)的動態(tài)特性。納米定位臺底座固定螺絲多大?
納米技術(shù)是21世紀重要的科學(xué)技術(shù)之一,它將引起一場新的工業(yè)發(fā)展浪潮。納米技術(shù)是包括納米電子、納米材料、納米生物、納米機械、納米制造、納米測量、納米物理納米化學(xué)等諸多科學(xué)技術(shù)在內(nèi)的一組技術(shù)的匯聚,其目的是研究、發(fā)展和加工結(jié)構(gòu)尺寸小于100nm的材料、裝置和系統(tǒng),以獲得具有所需功能和性能的產(chǎn)品??萍及l(fā)達國家為搶占這一高新技術(shù)生長點、制高點,競相將納米技術(shù)列為21世紀戰(zhàn)略性基礎(chǔ)研究的優(yōu)先項目。納米測量技術(shù)是納米技術(shù)的重要組成部分,對于納米材料的發(fā)展。納米器件和系統(tǒng)的研究與開發(fā)具有十分重要的意義。納米測量技術(shù)的內(nèi)涵涉及納米尺度的評價、成份、微細結(jié)構(gòu)和物性的納米尺度的測量,它是在納米尺度上研究材料和件的結(jié)構(gòu)與性能、發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象、發(fā)展新方法、創(chuàng)造新技術(shù)的基礎(chǔ)。納米技術(shù)主要研究微觀尺度的物體和現(xiàn)象,同時微納米檢測技術(shù)也主要指微米和納米尺度和精度的檢測技術(shù)。與廣義的測量技術(shù)相比,納采測量技術(shù)具有被測量的尺度小以及以非接觸測量手段為主等主要特點。 中空式壓電納米定位臺在其臺面的中心區(qū)域具有通孔。壓電效應(yīng)技術(shù)性能評估研究
納米定位臺是一個壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺。壓電陶瓷微動裝備
壓電納米定位臺具有移動面,是通過帶有柔性鉸鏈的機械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進行輸出,分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動源,結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺,驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)式、放大機構(gòu)式。具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點,配置高精度傳感器,可實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性,在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。近年來,由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展,光纖連接器作為光通信比較基本的光源器件,所以對其質(zhì)量及可靠性有了更嚴格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸?shù)男剩虼斯饫w端面的檢測至關(guān)重要。為得到光纖端面的三維參數(shù),通常根據(jù)光學(xué)干涉來進行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統(tǒng)中的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動,分5步位相移動,每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。 壓電陶瓷微動裝備