壓電納米定位臺(tái)的特點(diǎn):壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)高精度位移,定位精度可達(dá)納米級(jí)。具有超高的導(dǎo)向精度,有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。壓電納米位移臺(tái)典型應(yīng)用壓電納米定位臺(tái)憑借高穩(wěn)定性、高分辨率等優(yōu)良特性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空等領(lǐng)域。直推式的壓電納米位移臺(tái),其機(jī)械行程一般較?。?0μm-300μm);機(jī)械行程與控制精度往往不會(huì)跨數(shù)量級(jí)(當(dāng)機(jī)械行程在微米級(jí)時(shí),控制精度在納米級(jí)),但有的應(yīng)用場(chǎng)景需要使用在較大機(jī)械行程(1mm-3mm)的同時(shí),保證較高的控制精度(1nm);直推式的驅(qū)動(dòng)方式就無(wú)法滿足這種應(yīng)用場(chǎng)景的需求,需要采用特殊的壓電步進(jìn)電機(jī)的設(shè)計(jì),用多組垂直與水平向差分式壓電陶瓷組,交替運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng),就可以實(shí)現(xiàn)滿足較高控制精度的大行程運(yùn)動(dòng)。 納米定位臺(tái)底座固定螺絲多大尺寸?單層壓電陶瓷
EBL系統(tǒng)是重要的納米制造設(shè)備,它集電子、機(jī)械、真空和計(jì)算機(jī)技術(shù)于一身。然而,對(duì)于許多教育或研究實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō),商用EBL系統(tǒng)的價(jià)格要昂貴得多,因?yàn)檫@些實(shí)驗(yàn)室只對(duì)創(chuàng)新器件的技術(shù)開(kāi)發(fā)感興趣。因此,一套高性能、低成本、操作靈活的EBL系統(tǒng)會(huì)是一個(gè)很好的解決方案。本文介紹了一套基于改裝SEM搭建而成的EBL系統(tǒng),它的組成主要是允許外部信號(hào)控制電子束位置的改裝掃描電子顯微鏡、激光干涉儀控制工件臺(tái)、多功能高速圖案發(fā)生器和功能齊全、易于操作的軟件系統(tǒng)。這種基于掃描電子顯微鏡的EBL系統(tǒng)操作靈活,成本低廉,在微電子學(xué)、微光學(xué)、微機(jī)械學(xué)和其他大多數(shù)微納制造領(lǐng)域都有很大的應(yīng)用潛力。 壓電納米六軸臺(tái)多少錢(qián)可根據(jù)需求提供或定制微米領(lǐng)域的電動(dòng)手動(dòng)移動(dòng)臺(tái)。
縱觀納米測(cè)量技術(shù)發(fā)展的歷程,它的研究主要向兩個(gè)方向發(fā)展:一是在傳統(tǒng)的測(cè)量方法基礎(chǔ)上,應(yīng)用先進(jìn)的測(cè)試儀器解決應(yīng)用物理和微細(xì)加工中的納米測(cè)量問(wèn)題,分析各種測(cè)試技術(shù),提出改進(jìn)的措施或新的測(cè)試方法;二是發(fā)展建立在新概念基礎(chǔ)上的測(cè)量技術(shù),利用微觀物理、量子物理中新的研究成果,將其應(yīng)用于測(cè)量系統(tǒng)中,它將成為未來(lái)納米測(cè)量的發(fā)展趨向。但納米測(cè)量中也存在一些問(wèn)題限制了它的發(fā)展。建立相應(yīng)的納米測(cè)量環(huán)境一直是實(shí)現(xiàn)納米測(cè)量亟待解決的問(wèn)題之一,而且在不同的測(cè)量方法中需要的納米測(cè)量環(huán)境也是不同的。同時(shí),對(duì)納米材料和納米器件的研究和發(fā)展來(lái)說(shuō),表征和檢測(cè)起著至關(guān)重要的作用。由于人們對(duì)納米材料和器件的許多基本特征、結(jié)構(gòu)和相互作用了解得還不很充分,使其在設(shè)計(jì)和制造中存在許多的盲目性,現(xiàn)有的測(cè)量表征技術(shù)就存在著許多問(wèn)題。此外,由于納米材料和器件的特征長(zhǎng)度很小,測(cè)量時(shí)產(chǎn)生很大擾動(dòng),以至產(chǎn)生的信息并不能完全顯示其本身特性。這些都是限制納米測(cè)量技術(shù)通用化和應(yīng)用化的瓶頸,因此,納米尺度下的測(cè)量無(wú)論是在理論上,還是在技術(shù)和設(shè)備上都需要深入研究和發(fā)展。
壓電位移臺(tái)在光纖端面檢測(cè)方面的應(yīng)用:近年來(lái),由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展,光纖連接器作為光通信基本的光源器件,所以對(duì)其質(zhì)量及可靠性有了更嚴(yán)格的要求。為了提高光纖連接及光信號(hào)傳輸?shù)男?,因此光纖端面的檢測(cè)至關(guān)重要。為得到光纖端面的三維參數(shù),通常根據(jù)光學(xué)干涉來(lái)進(jìn)行測(cè)量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺(tái)用于移動(dòng)3D干涉儀系統(tǒng)中的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動(dòng),分5步位相移動(dòng),每移動(dòng)一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。 納米定位平臺(tái)批發(fā)價(jià)格?
由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺(tái)用于移動(dòng)3D干涉儀系統(tǒng)中的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動(dòng),分5步位相移動(dòng),每移動(dòng)一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移。具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦等特點(diǎn),可適應(yīng)匹配光纖端面檢測(cè)的需求。壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移。具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。此外,壓電納米定位臺(tái)還可用于:光路調(diào)整;納米操控技術(shù);納米光刻,生物科技;激光干涉;CCD圖像處理;納米測(cè)量、顯微操作;納米壓印、納米定位;顯微成像、共焦顯微。 壓電納米定位臺(tái)具有移動(dòng)面。壓電陶瓷和納米技術(shù)
壓電納米定位臺(tái)的工作原理及典型應(yīng)用。單層壓電陶瓷
雙軸壓電微掃平臺(tái)帶有一個(gè)中孔,用于安裝透射鏡,是一款面向航天、航空、兵器工業(yè)等應(yīng)用方向產(chǎn)品,采用開(kāi)環(huán)前饋控制,具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、運(yùn)動(dòng)范圍大、成本低等特點(diǎn)。主要用于動(dòng)態(tài)穩(wěn)像領(lǐng)域,在移動(dòng)平臺(tái)上,根據(jù)陀螺儀反饋回的速度和加速度信息,在拍攝時(shí)高速沿移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向反向位移,用以平衡運(yùn)動(dòng)狀態(tài)造成的拖影。雙軸壓電微掃平臺(tái)由疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器提供驅(qū)動(dòng)力,經(jīng)過(guò)位移放大機(jī)構(gòu),柔性機(jī)構(gòu)推動(dòng)透鏡進(jìn)行2X2掃描,由于疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器響應(yīng)速度快,體積小,出力大剛度高,可以根據(jù)控制信號(hào)實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)快速定位響應(yīng)。 單層壓電陶瓷