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Gigaphoton限時(shí)的eTGM技術(shù)也將擴(kuò)展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。這一擴(kuò)展計(jì)劃將于2015年11月啟動(dòng)。通過引進(jìn)eTGM技術(shù),KrF和ArF激光器可減少25%的氖氣用量,ArF浸沒式激光器可減少高達(dá)50%的氖氣用量。加速推出Gigaphoton的氣體回收技術(shù)hTGM。該技術(shù)適用于所有類型的激光器。hTGM預(yù)計(jì)于2016年上市。采用hTGM技術(shù)后,客戶將可以回收高達(dá)50%的消耗氣體。Gigaphoton總裁兼首席執(zhí)行官HitoshiTomaru表示:“氖氣是半導(dǎo)體制造業(yè)不可或缺的氣體,我們認(rèn)識(shí)到在當(dāng)前情況下,持續(xù)的供應(yīng)危機(jī)是一個(gè)極為嚴(yán)重的問題,將會(huì)嚴(yán)重威脅生產(chǎn)的連續(xù)性。Gigaphoton將盡一切努力來支持客戶的穩(wěn)定生產(chǎn),為此我們推出了三大措施:為氣體供應(yīng)商提供快速資質(zhì)認(rèn)證、大幅減少氣體使用及盡早推出氣體回收技術(shù)。無腐蝕性,可使用通用材料。廣東普通氖哪家好
氖氣是一種無色、無臭的惰性氣體,具有以下性質(zhì):1、非常穩(wěn)定:氖氣是一種六原子氣體,具有非常高的穩(wěn)定性,不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。2、低溶解度:氖氣在水中的溶解度非常低,幾乎不與水反應(yīng)。3、高導(dǎo)熱性:氖氣具有很高的導(dǎo)熱性,常用于制冷和冷卻設(shè)備中。4、易受電離:在高電壓下,氖氣可被激發(fā)為氖的等離子體狀態(tài),發(fā)出紅色橙色的熒光。
氖氣的主要用途包括:1、照明:氖氣***用于制造熒光燈、霓虹燈和放電管等照明設(shè)備,因其發(fā)出明亮的橙紅色熒光而得名。2、氣體激光:氖氣可用于產(chǎn)生氖氣激光器,用于科學(xué)研究、醫(yī)療***和材料加工等領(lǐng)域。3、制冷和冷卻:氖氣具有很高的導(dǎo)熱性,常用于制冷和冷卻系統(tǒng)中,特別是在高溫設(shè)備的散熱方面。 四川液氖廠家價(jià)格為了能夠把大空間抽成真空狀態(tài),經(jīng)常使用液氦低溫泵,若真空要求不高,也可以采用液氖低溫泵。
將鋼水采用爐外精煉和真空脫氣處理,采用保護(hù)澆鑄工藝獲得純凈鋼坯,將鋼坯進(jìn)行熱塑性加工、退火、熱碾環(huán)加工成軸承;對(duì)上述軸承進(jìn)行熱處理,奧氏體化溫度870℃,保溫80分鐘后油淬,600℃高溫回火。取樣進(jìn)行機(jī)械性能測(cè)試,結(jié)果如表2所示:表2.實(shí)施例3將化學(xué)成分(按重量百分比計(jì))為C:、Mn:、Mo:、Cr:、Si:、Al酸溶:、B:、N:、O:、H:、S:、P:,其余為Fe和正常雜質(zhì)的鋼水采用轉(zhuǎn)爐冶煉,將鋼水采用爐外精煉和真空脫氣處理,采用保護(hù)澆鑄工藝獲得純凈鋼坯,將鋼坯進(jìn)行熱塑性加工、退火、熱碾環(huán)加工成軸承;對(duì)上述軸承進(jìn)行熱處理,奧氏體化溫度880℃,保溫130分鐘后油淬,650℃高溫回火2h后油冷制室溫。取樣進(jìn)行機(jī)械性能測(cè)試,結(jié)果如表3所示:表3.。
主要用于霓虹燈及作為電子工業(yè)的填充介質(zhì)(例如高壓氖燈、計(jì)數(shù)管等).也用于激光技術(shù)。液氖因具有沸點(diǎn)低等優(yōu)點(diǎn),可作為26~40K之間的低溫冷源。另外在高能物理方面得到應(yīng)用。例如使用液氖的氣泡室等。還可以氖氧混合氣代替氦氧氣用于呼吸。
本品在高濃度時(shí),可使空氣中氧分壓降低而有窒息危險(xiǎn)。表現(xiàn)有呼吸加快、注意力不集中、共濟(jì)失調(diào);繼之出現(xiàn)疲倦乏力、煩躁不安、惡心、嘔吐、昏迷、抽搐,以致死亡。進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)一般不需特殊防護(hù)。但當(dāng)作業(yè)場(chǎng)所空氣中氧氣濃度低于18%時(shí),必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長(zhǎng)管面具。眼睛防護(hù):一般不需特殊防護(hù)。用6ma鋼瓶或2L玻璃瓶包裝,外用木箱或紙箱保護(hù)。貯存于陰涼、干燥處。以容量不超過2L的玻璃瓶包裝的可按普通貨物運(yùn)輸。裝卸時(shí)要輕拿輕放,防止包裝破損。滅火方法:本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。 電路接通后,氖泡會(huì)停止發(fā)熱。
同時(shí)蒸發(fā)冷凝介質(zhì)以產(chǎn)生由該冷凝介質(zhì)的蒸發(fā)形成的物流;(d)將該含氖排放流引導(dǎo)至回流冷凝器;以及(e)還用經(jīng)過冷液氮流的一部分將來自該含氖排放流的氮?dú)饫淠援a(chǎn)生氮?dú)饫淠锖桶笥诩s50%摩爾份數(shù)的氖氣的粗氖蒸氣流。同時(shí)蒸發(fā)或部分蒸發(fā)該經(jīng)過冷液氮流的該部分以產(chǎn)生由該經(jīng)過冷液氮流的該部分的蒸發(fā)或部分蒸發(fā)形成的第二物流。在利用汽提塔冷凝器的實(shí)施方案中,汽提塔冷凝器可以是集成到利用氮?dú)庾鳛橹吕湓?即,冷凝介質(zhì))的不可冷凝物汽提塔中的回流冷凝器。在此類實(shí)施方案中,冷凝介質(zhì)可包括液氮塔底餾出物的一部分,同時(shí)來自回流冷凝器的汽化流可經(jīng)由氮?dú)庵评鋲嚎s機(jī)再循環(huán)至不可冷凝物汽提塔。另選地,在液氧源用作致冷源(即,冷凝介質(zhì))的情況下,冷凝器可以是熱虹吸式冷凝器或直流冷凝器。在此類實(shí)施方案中,冷凝介質(zhì)可以是來自空氣分離單元的低壓塔的液氧流,同時(shí)來自回流冷凝器的汽化流可被引導(dǎo)回空氣分離單元的低壓塔。在本發(fā)明的一些或所有實(shí)施方案中,經(jīng)過冷液氮回流流可經(jīng)由與空氣分離單元的低壓塔的氮?dú)馑旔s出物的間接換熱而過冷。除了將經(jīng)過冷液氮回流流的一部分引導(dǎo)至回流冷凝器或氖氣質(zhì)量改善裝置之外。在貯運(yùn)過程中應(yīng)輕裝輕卸,嚴(yán)防容器碰損。海南高純氖廠家
氖在常溫常壓下為無色無臭無毒的惰性氣體??諝庵泻始s18ppm。不燃。廣東普通氖哪家好
還可將經(jīng)過冷液氮回流流的其他部分作為回流流引導(dǎo)至低壓塔并且/或者將其看作液氮產(chǎn)物流。附圖說明雖然本發(fā)明的結(jié)論是申請(qǐng)人視為他們的發(fā)明內(nèi)容且清楚地指出發(fā)明主題的權(quán)利要求,但相信本發(fā)明在結(jié)合附圖考慮時(shí)將得到更好的理解。其中:圖1是具有本發(fā)明的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的實(shí)施方案的低溫空氣分離單元的局部示意圖;圖2是圖1的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的更詳細(xì)示意圖;圖3是具有不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的另選實(shí)施方案的低溫空氣分離單元的局部示意圖;圖4是圖3的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方案的更詳細(xì)示意圖;圖5是圖3的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的另一實(shí)施方案的更詳細(xì)示意圖;圖6是具有本發(fā)明的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的又一實(shí)施方案的低溫空氣分離單元的局部示意圖;圖7是圖6的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的更詳細(xì)示意圖;并且圖8是圖6的不可冷凝氣體回收系統(tǒng)的更詳細(xì)示意圖。具體實(shí)施方式現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖1、圖3和圖6,示出了通常也稱為空氣分離單元10的低溫空氣分離設(shè)備的簡(jiǎn)化例示。從廣義上講,所描繪的空氣分離單元包括主進(jìn)料空氣壓縮機(jī)組20、渦輪空氣回路30、增壓器回路40、主或初級(jí)換熱器系統(tǒng)50、基于渦輪的致冷回路60以及蒸餾塔系統(tǒng)70。如本文所用。廣東普通氖哪家好