安全四氟化碳質(zhì)量代理商

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-03-06

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽(yáng)氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對(duì)于硅和二氧化硅體系,采用CF4-O2反應(yīng)離子刻蝕時(shí),通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。



氟代烴的低層大氣中比較穩(wěn)定,而在上層大氣中可被能量更大的紫外線分解。安全四氟化碳質(zhì)量代理商

半導(dǎo)體材料屬于高技術(shù)壁壘行業(yè),特別是晶圓制造材料,技術(shù)要求高,生產(chǎn)難度大。目前,半導(dǎo)體材料**產(chǎn)品大多集中在美國(guó)、日本、德國(guó)、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣等國(guó)家和地區(qū)生產(chǎn)商。國(guó)內(nèi)由于起步晚,技術(shù)積累不足,整體處于相對(duì)落后的狀態(tài)。目前,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料主要集中在中低端領(lǐng)域,**產(chǎn)品基本被國(guó)外生產(chǎn)商壟斷。如硅片,2017年全球五大硅片廠商占據(jù)了全球94%的市場(chǎng)份額。

近年來國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料生產(chǎn)商加大了研發(fā)投入,大力推進(jìn)半導(dǎo)體材料的研發(fā)及生產(chǎn),力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。目前在部分細(xì)分領(lǐng)域,已經(jīng)突破國(guó)外壟斷,實(shí)現(xiàn)規(guī)?;┴洝H鏑MP拋光材料的**企業(yè)安集科技,公司化學(xué)機(jī)械拋光液已在130-28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)規(guī)?;N售,主要應(yīng)用于國(guó)內(nèi)8英寸和12英寸主流晶圓產(chǎn)線;濺射靶材**江豐電子,16納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)批量供貨,同時(shí)7納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)也實(shí)現(xiàn)供貨。


常州正規(guī)四氟化碳銷售價(jià)格所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中,需要使用四氟化碳。

四氟化碳的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,在通常情況下,它與硅直接接觸,也不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

溫度較低時(shí),四氟化碳與二氧化碳不發(fā)生作用,只有在1000℃以上,才能和二氧化碳進(jìn)行反應(yīng),生成羰基氟。其反應(yīng)

 只有適當(dāng)?shù)臈l件下,四氟化碳才能與氧化劑和還原劑進(jìn)行反應(yīng)。

四氟化碳不燃燒,有低毒性和窒息性。四氟化碳對(duì)肝臟、腦神經(jīng)系統(tǒng)有損害。與可燃性氣體一起燃燒時(shí),發(fā)生分解,產(chǎn)生的氧化物,

 四氟化碳沒有腐蝕性??墒褂娩X、銅、青銅、鋼、不銹鋼等大部分金屬和合金材料。聚四氟乙烯和環(huán)氧樹脂具有良好的耐腐蝕性能。聚三氟氯乙烯聚合體接觸四氟化碳有輕微溶脹現(xiàn)象,但傻仍可耐無能蝕。尼龍?jiān)诟邷睾陀锌栈蛴兴执嬖谇闆r下,它全變脆。






從近幾年大陸半導(dǎo)體材料、設(shè)備的需求占比來看,大陸半導(dǎo)體材料市場(chǎng)規(guī)模占全球的比重由 2013 年的約 4%提升到 2018 年的約 16%,大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模占全球比重由 2016 年的約 16%提升到 2018 年的約 20%。而可預(yù)見的未來,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)能的增加將進(jìn)一步帶動(dòng)本地半導(dǎo)體材料需求。近年來,隨著國(guó)家的對(duì)于集成電路產(chǎn)業(yè)的重視以及資本的支持,國(guó)內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,但是與國(guó)外仍有不小的差距。特別是在上游的半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域,更是差距巨大。不過,隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造的崛起,也推動(dòng)了半導(dǎo)體材料的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。

對(duì)于混合氣而言,配比的精度是參數(shù),隨著產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升,客戶常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾Nppm(partpermillion,百萬(wàn)分之)乃至ppb(partperbillion,十億分之)級(jí)濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作,其配制過程的難度與復(fù)雜程度也增大。此外,氣瓶處理、氣體分析檢測(cè)、氣體配送等環(huán)節(jié)亦對(duì)生產(chǎn)企業(yè)提出了較高的技術(shù)要求作為關(guān)鍵性材料,特種氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對(duì)下游產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)影響巨大。如果晶圓加工環(huán)節(jié)所使用的氣體發(fā)生質(zhì)量問題,將導(dǎo)致整條生產(chǎn)線產(chǎn)品報(bào)廢,造成巨額損失四氟化碳不與銅、鎳、鎢、鉬反應(yīng)。鎮(zhèn)江直銷四氟化碳價(jià)格便宜

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 四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環(huán)境下是相對(duì)惰性的,在不通風(fēng)的地方會(huì)引起窒息。在射頻等離子體環(huán)境中,氟自由基表現(xiàn)為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過程,使尺寸和形狀得到更好的控制,這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時(shí)不利于各種特殊的控制(如半導(dǎo)體各項(xiàng)異性控制)。其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽(yáng)氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。



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