重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

晶圓切割是半導(dǎo)體封測工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序，據(jù)悉，與傳統(tǒng)的切割方式相比，激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高、加工效率高等特點，可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平，該設(shè)備采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器，**終實現(xiàn)了隱形切割。 在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機(jī)，配以不同功效的鏡頭，實現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。尋找超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的專業(yè)生產(chǎn)廠家。重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

半導(dǎo)體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝，具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢。隱形切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間，在材料中間形成改質(zhì)層，然后通過外部施加壓力使芯片分開。晶圓切割是先進(jìn)技術(shù)的**，標(biāo)志著一個國家的先進(jìn)水平，想要不出現(xiàn)被卡脖子的狀況，唯有發(fā)展自己的技術(shù)，才能跳出這個泥潭，作為激光行業(yè)的**，超通智能針對半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存儲芯片等諸多晶圓的切割領(lǐng)域，為國家的進(jìn)步做貢獻(xiàn)，實現(xiàn)國產(chǎn)化生產(chǎn)，提升國家競爭力。重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場應(yīng)用分析。

近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長，硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向于輕薄化，傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用，于是在部分工序引入了激光技術(shù)。在諸多激光技術(shù)中脈沖激光特別是超短脈沖激光在精密加工領(lǐng)域應(yīng)用又尤為***，超短脈沖激光是指激光單個脈沖寬度達(dá)到甚至小于10-12秒（即皮秒）這個量級的激光，由于激光脈沖時間寬度極短，在某個頻率（即一定脈沖個數(shù)）下需要釋放設(shè)定的激光功率，單個脈沖的激光功率就是固定的，將單個脈沖的能量在極短的時間釋放出去，造成瞬時功率極高（兆瓦及以上），瞬間改變材料性質(zhì)，平均功率很低對材料加工區(qū)域熱影響很小的加工效果即激光冷加工。超短脈沖激光加工具有諸多獨特的優(yōu)勢：

主要性能參數(shù)產(chǎn)品型號CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺參數(shù)平臺形式XY直線電機(jī)基座高精度大理石平臺加工范圍400×400 mm（可定制）定位精度±3 um重復(fù)定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業(yè)相機(jī)600W鏡頭遠(yuǎn)心鏡頭系統(tǒng)屬性支持文件格式DXF等常規(guī)CAD格式環(huán)境要求溫度：20-30℃，濕度：<60%電力需求380V/50Hz/10KVA選擇超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)該注意什么？無錫超通智能告訴您。

在激光切割晶圓過程中，從光斑直徑上來分析，光斑直徑是指光強(qiáng)降落到中心值的點所確定的范圍，這個范圍內(nèi)包含了光束能量的86.5%。在理想情況下，直徑范圍內(nèi)的激光可以實現(xiàn)切割。實際上，劃片寬度略大于光斑直徑。在劃片時，聚焦后的光斑直徑當(dāng)然是越小越好，這樣劃片所需的劃片槽尺寸就會越小。相應(yīng)方法就是減小焦距。但是，減小聚焦鏡焦距的代價就是焦深會縮短，使得劃片厚度減少。因此，焦距的確定需要綜合考慮劃片的厚度和劃片槽的寬度。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備誠信經(jīng)營。山西先進(jìn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案

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隨著厚度的不斷減薄，晶圓會變得更為脆弱，因此機(jī)械劃片的破片率大幅增加，而此階段晶圓價格昂貴，百分之幾的破片率就足以使利潤全無。另外，當(dāng)成品晶圓覆蓋金屬薄層時，問題會變得更加復(fù)雜，金屬碎屑會包裹在金剛石刀刃上，使切割能力大下降，嚴(yán)重的會有造成破片、碎刀的后果崩邊現(xiàn)象會更明顯，尤其是交叉部分破損更為嚴(yán)重。當(dāng)機(jī)械劃片遇到無法克服的困難時，人們自然想到用激光來劃片。激光劃片可進(jìn)行橢圓等異形線型的劃切，也允許晶圓以更為合理的方式排列，可在同樣大的晶圓上排列更多的晶粒，使有效晶粒數(shù)量增加重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備