倍藍光電白光干涉膜厚儀如何測量粗糙表面？

上海倍藍光電科技有限公司2025-08-21

倍藍白光干涉膜厚儀采用130萬像素CMOS相機和LED寬光譜光源，其垂直分辨率達0.1nm，橫向分辨率1μm。針對粗糙表面測量，倍藍開發(fā)了獨特的區(qū)域平均算法，可自動識別并排除表面凹凸造成的異常數(shù)據(jù)點。在金屬鍍層測試中，即使表面粗糙度Ra值達0.8μm，仍能準(zhǔn)確測得平均膜厚。干涉鏡頭配備倍藍專業(yè)技術(shù)的振動隔離結(jié)構(gòu)，將環(huán)境振動影響降低90%以上。儀器內(nèi)置的自動對焦系統(tǒng)可在0.5秒內(nèi)完成Z軸定位，特別適合在線檢測場景。

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