半導(dǎo)體設(shè)備安裝為什么要做減震措施？

上海笙電電力科技有限公司2025-02-27

半導(dǎo)體設(shè)備多精密昂貴，運(yùn)行時(shí)微小振動(dòng)都可能影響加工精度。一方面，設(shè)備自身的風(fēng)機(jī)、泵等旋轉(zhuǎn)部件運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生振動(dòng)，若不隔離，會(huì)傳遞至設(shè)備主體，干擾芯片光刻、蝕刻等精細(xì)工序。另一方面，外界振動(dòng)源，如工廠內(nèi)相鄰設(shè)備、建筑物周邊交通振動(dòng)，也可能傳入。通過在設(shè)備與基座間安裝橡膠減震墊、空氣彈簧減震器等，其特殊彈性結(jié)構(gòu)能吸收、緩沖振動(dòng)能量，根據(jù)設(shè)備重量、振動(dòng)頻率精確選型，將振動(dòng)影響降至至低，保障芯片制造高精度要求。我們笙電電力科技成立于2016年，是一家專業(yè)從事機(jī)電設(shè)備生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、維護(hù)和技術(shù)支持的企業(yè)，細(xì)心，精心，用心，服務(wù)品質(zhì)永保稱心，歡迎廣大客戶與我司洽談合作！

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