潔凈室管道二次配在電子芯片制造車間有啥特殊考量？

上海笙電電力科技有限公司2025-02-25

在電子芯片制造車間，潔凈室管道二次配要求極高。選材必須是超高純、低釋氣材質(zhì)，像PFA全氟烷氧基樹(shù)脂管，幾乎不釋放微粒與雜質(zhì)，保障芯片免受污染，維持高良率。管道布局緊密圍繞芯片制造設(shè)備，精確供應(yīng)光刻膠、電子氣體等關(guān)鍵物料，避免交叉污染，確保各工序物料純凈。壓力控制精確，微小波動(dòng)都可能影響芯片刻蝕、鍍膜等工藝精度，安裝高精度壓力調(diào)節(jié)閥并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。同時(shí)，嚴(yán)格氣密測(cè)試，采用高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏，杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)，全方面為芯片制造打造完美潔凈、穩(wěn)定的管道輸送環(huán)境。我們笙電電力科技專注于機(jī)電設(shè)備生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、維護(hù)和技術(shù)支持的一條龍服務(wù)，傾力為客戶提供更滿意的服務(wù)！歡迎廣發(fā)客戶前來(lái)咨詢合作！

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