光刻機(jī)的工作原理是什么？

岱美儀器技術(shù)服務(wù)2024-11-13

光刻機(jī)的工作原理主要是利用光學(xué)成像技術(shù)，將芯片上的電路圖案投射到光刻膠上，然后通過化學(xué)反應(yīng)將圖案轉(zhuǎn)移到芯片表面。具體來說，光刻機(jī)先將芯片表面涂上一層光刻膠，然后將芯片放置在光刻機(jī)的工作臺上。接下來，光刻機(jī)將光源通過光學(xué)透鏡集成一個光學(xué)圖案，再通過投影鏡頭將圖案縮小并投射到光刻膠上。光刻膠在光的作用下會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成電路圖案。然后再，通過洗滌和蝕刻等工藝步驟將光刻膠去除，就可以得到芯片上的電路圖案了。我們岱美一切產(chǎn)品均從實(shí)際出發(fā)，嚴(yán)格把關(guān)產(chǎn)品質(zhì)量，得到了廣大客戶積極的好評，熱誠歡迎廣大客戶前來咨詢合作！

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