晶圓甩干機(jī)主要由哪些部分構(gòu)成？

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無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-02-06

主要由旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、控制系統(tǒng)、腔室、噴淋系統(tǒng)、氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)以及保護(hù)外殼等部分組成。

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