本發(fā)明的優(yōu)點在于：本申請的束徑約束器通過驅(qū)動組件驅(qū)動滑環(huán)旋轉(zhuǎn)，以使葉片轉(zhuǎn)動來進行光闌的大小調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方便且調(diào)節(jié)精度高；而采用包含該束徑約束器的束徑控制裝置進行束徑調(diào)節(jié)時，通過在控制器上輸入離子束束徑值即可實現(xiàn)光闌大小的調(diào)節(jié)，無需關(guān)閉離子源和打開真空腔體，調(diào)節(jié)效率高、自動化程度好。附圖說明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中采用曲面柵網(wǎng)調(diào)節(jié)束徑的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請中離子束采用平面柵網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請中束徑約束器結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖3的示意圖。圖5為為圖4的進一步示意圖。圖6為本申請中的葉片結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本申請中的束徑控制裝置的示意圖。具體實施方式下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，*用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。如圖3至6所示為本申請的束徑約束器的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，該射頻離子源離子束束徑約束器，包括底座1、多個葉片2及驅(qū)動機構(gòu)，底座1上設(shè)置有可供離子束穿過的中空結(jié)構(gòu)11，多個葉片2設(shè)于底座1一端并環(huán)繞底座1的中空結(jié)構(gòu)11呈圓周排布。真空鍍膜機類型推薦。重慶離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜機真空系統(tǒng)檢漏法之真空計檢漏法】常用的真空計檢漏法主要是熱傳導(dǎo)真空計法與電離真空計法。以熱傳導(dǎo)真空計法為例，它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導(dǎo)能力差異與壓力的關(guān)系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時，要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài)，將示漏氣體噴吹于可疑處（也可能用有機溶劑涂抹，但易吸附、堵塞漏孔，并造成污染）。一旦有漏孔存在，示漏氣體會通過漏孔進入被檢系統(tǒng)，因為示漏氣體的熱傳導(dǎo)能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da，會引起明顯的熱傳導(dǎo)性質(zhì)變化，熱傳導(dǎo)真空計的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎(chǔ)上就會發(fā)生波動變化，根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應(yīng)地，電離真空計法利用的即是示漏氣體進入后導(dǎo)致的離子流變化來進行換算。真空系統(tǒng)檢漏中應(yīng)用真空計檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計的特性的配合，選擇示漏氣體對應(yīng)的特性差異要明顯有別于原有氣體成分，如熱傳導(dǎo)真空計的熱傳導(dǎo)能力、電離真空計的電離電位。其次為便于準確地觀察前后數(shù)據(jù)變化，要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài)，測量的真空計規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài)，防止虛假數(shù)據(jù)誤導(dǎo)。同時真空計規(guī)管存在惰性，需要觀察足夠的時間。江蘇離子束輔助沉積射頻離子源廠家離子真空鍍膜機是什么？
【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】將工件放置于常壓或真空中加熱．促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來達到清洗的目的，這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關(guān)。其原理是加熱工件．促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關(guān)。在超高真空下，為了得到原子級清潔表面，加熱溫度必高于450度才行．加熱清洗方法特別有效。但有時，這種處理方法也會產(chǎn)生副作用。由于加熱的結(jié)果，可能發(fā)生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒，并同時分解成碳渣。
【真空鍍膜機常見故障】:一、當正在鍍膜室真空突然下降1.蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈）2.坩堝被打穿（更換坩堝）3.高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）4.工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞（更換膠圈）5.預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）6.高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）7.機械泵停機可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否工作正常）8.烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）9.擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈）10.玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空：1.蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清洗）2.擴散泵很久未換油（應(yīng)清洗換油）3.前級泵反壓強da太機械泵真空度太低（應(yīng)清洗換油）4.各動密封膠圈損壞（更換膠圈）5.由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）6.蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）7.各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊）8.高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）真空鍍膜機日常怎么維護？
【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計原則及常用技術(shù)指標】真空設(shè)備設(shè)計原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計，后校核。由粗到細。鍍膜機常用技術(shù)指標：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復(fù)真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;高電壓。真空鍍膜機故障維修技巧有哪些？北京離子束輔助沉積射頻離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)
真空鍍膜機國內(nèi)有哪些產(chǎn)商？重慶離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠家
本發(fā)明的另一目的在于提供一種便于進行束徑調(diào)節(jié)的束徑控制裝置。本發(fā)明的另一目的還在于提供一種束徑控制方法。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種射頻離子源離子束束徑約束器，其特征在于：所述束徑約束器包括具有可供離子束穿過的中空結(jié)構(gòu)的底座、多個葉片及驅(qū)動機構(gòu)；所述多個葉片設(shè)于底座一端并環(huán)繞中空結(jié)構(gòu)呈圓周排布，多個葉片的尾端伸入中空結(jié)構(gòu)所在區(qū)域以圍合形成可供離子束穿過的光闌，所述驅(qū)動機構(gòu)可驅(qū)動葉片的尾端相對葉片排布形成的圓周中心運動以調(diào)節(jié)光闌大小。進一步的，所述葉片的首端與底座的對應(yīng)端面轉(zhuǎn)動連接，所述葉片的尾端沿葉片排布形成的圓周周向依次疊放并斜向伸入所述中空結(jié)構(gòu)所在區(qū)域以形成所述光闌；所述驅(qū)動機構(gòu)包括滑環(huán)及驅(qū)動滑環(huán)繞滑環(huán)中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動組件，所述滑環(huán)位于多個葉片的遠離底座的一側(cè)并與多個葉片排布形成的圓周同軸設(shè)置，滑環(huán)旋轉(zhuǎn)時帶動葉片的尾端繞葉片的首端轉(zhuǎn)動以實現(xiàn)光闌大小調(diào)節(jié)。進一步的，所述葉片呈與多個葉片排布形成的圓周同向彎曲的圓弧狀。進一步的，所述底座的所述一端端面上設(shè)有多個呈圓周布置的定位孔，所述葉片的首端靠近底座的一側(cè)面上設(shè)有可伸入定位孔中轉(zhuǎn)動的固定軸。進一步的。重慶離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠家