真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子槍加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。真空鍍膜設備品牌推薦。重慶高真空鍍膜設備生產(chǎn)
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜外自霧】:現(xiàn)象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙tong或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕。可能成因有:1.膜結(jié)構(gòu)問題,外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散,外層膜太粗糙2.蒸發(fā)角過大,膜結(jié)構(gòu)粗糙3.溫差:鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大4.潮氣:鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣5.真空室內(nèi)POLYCOLD解凍時水汽過重6.蒸鍍中充氧不完全,膜結(jié)構(gòu)不均勻。7.膜與膜之間的應力改善思路:膜外白霧成因很多但各有特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環(huán)境減少吸附的對象。改善對策:1.改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。2.降低出罩時的鏡片溫度3.改善充氧(加大),改善膜結(jié)構(gòu)4.適當降低蒸發(fā)速率,改善柱狀結(jié)構(gòu)5.離子輔助鍍膜,改善膜結(jié)構(gòu)6.加上Polycold解凍時的小充氣閥7.從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角8.改善基片表面粗糙度9.注意Polycold解凍時的真空度。 山西匯成真空鍍膜設備書真空鍍膜設備日常怎么維護?
【真空鍍膜設備的分類】:這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設備和化學沉積設備?,F(xiàn)在這樣回答也是沒錯的,但現(xiàn)在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應用領域上可以分成以下幾類:傳統(tǒng)光學器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設備:單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設備,濺射式鍍膜設備。新材料領域的柔性設備:卷對卷柔性鍍膜設備。光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設備。半導體及相似工藝:化學氣相沉積設備。功能膜:多弧離子鍍設備,濺射設備,蒸發(fā)設備玻璃工藝:濺射式連續(xù)線其余的就得歸到“工藝定制設備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設備,太陽能的共蒸發(fā)設備,光纖鍍膜設備,太陽能管設備等等
【真空鍍膜設備之真空的獲得】: 真空泵:真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣fan用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。 A、粗真空泵(Rough Vacuum Pump):一般用于抽粗真空,有油泵和 干泵。從結(jié)構(gòu)上可分幾種: 旋轉(zhuǎn)葉片泵:油泵,極限真空可達10&3Torr,抽速1~650CFM 隔膜泵:干泵,極限真空1Torr左右,抽速<10CFM 往復式活塞泵:干泵,極限真空10&2Torr,抽速6~32CFM 渦旋式真空泵:干泵,極限真空10&2Torr,抽速12~25CFM 螺旋泵:干泵,極限真空10&3Torr,抽速30~318CFM 真空鍍膜設備操作視頻。
多弧離子鍍原理是利用真空弧光放電計數(shù)用于蒸發(fā)源的技術(shù),即在真空環(huán)境下引燃蒸發(fā)源(陰極),與陽極之間形成自持弧光放電,既從陰極弧光輝點放出陰極物質(zhì)的離子。由于電流局部的集中,產(chǎn)生的焦耳熱使陰極材料局部的爆發(fā)性地等離子化,在工作偏壓的作用下與反應氣體化合,而沉積在工件表面是形成被鍍的膜層。真空蒸發(fā)鍍膜法:就是將鍍的基材放于真空鍍膜機的電極上進行加熱,使其蒸發(fā)為氣體,由于鍍膜室處于真空狀態(tài),所以氣體膜材的運輸不會受到阻礙,沉積到基片表面,就形成了均勻的薄膜。真空鍍膜設備品牌排行。重慶高真空鍍膜設備生產(chǎn)
真空鍍膜機真空四個階段。重慶高真空鍍膜設備生產(chǎn)
【真空鍍膜電阻加熱蒸發(fā)法】:電阻加熱蒸發(fā)法就是采用鎢、鉬等高熔點金屬,做成適當形狀的蒸發(fā)源,其上裝入待蒸發(fā)材料,讓電流通過,對蒸發(fā)材料進行直接加熱蒸發(fā),或者把待蒸發(fā)材料放入坩鍋中進行間接加熱蒸發(fā)。利用電阻加熱器加熱蒸發(fā)的鍍膜設備構(gòu)造簡單、造價便宜、使用可靠,可用于熔點不太高的材料的蒸發(fā)鍍膜,尤其適用于對膜層質(zhì)量要求不太高的大批量的生產(chǎn)中。目前在鍍鋁制品的生產(chǎn)中仍然大量使用著電阻加熱蒸發(fā)的工藝。電阻加熱方式的缺點是:加熱所能達到的Zui高溫度有限,加熱器的壽命也較短。近年來,為了提高加熱器的壽命,國內(nèi)外已采用壽命較長的氮化硼合成的導電陶瓷材料作為加熱器。重慶高真空鍍膜設備生產(chǎn)