【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對(duì)于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨(dú)控制?;ǔ=拥匚?,它和靶與高頻電路無(wú)關(guān),不會(huì)象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺(tái)較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)的單獨(dú)控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長(zhǎng)不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造,設(shè)計(jì)、加工了專門(mén)的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺(tái)上,可使樣品和控溫的樣品臺(tái)有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測(cè)溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導(dǎo)線引出與高精度的萬(wàn)用表相連,以監(jiān)測(cè)薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)品牌有很多,你如何選擇?貴州卷繞真空鍍膜源頭實(shí)力廠家
【真空鍍膜之材料表面處理】表面處理:是在基體材料表面上人工形成一層與基體的機(jī)械、物理和化學(xué)性能不同的表層的工藝方法。表面處理的目的是滿足產(chǎn)品的耐蝕性、耐磨性、裝飾或其他特種功能要求。我們比較常用的表面處理方法是,機(jī)械打磨,化學(xué)處理,表面熱處理,噴涂表面,表面處理就是對(duì)工件表面進(jìn)行清潔、清掃、去毛刺、去油污、去氧化皮等。常用表面處理的工藝有:真空電鍍、電鍍工藝、陽(yáng)極氧化、電解拋光、移印工藝、鍍鋅工藝、粉末噴涂、水轉(zhuǎn)印、絲網(wǎng)印刷、電泳等。云南光學(xué)鍍膜卷繞真空鍍膜專業(yè)生產(chǎn)真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及解決方法。
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場(chǎng),在此區(qū)電子密度高,進(jìn)而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級(jí)),濺射速度可達(dá)0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,新發(fā)展出
【真空鍍膜機(jī)詳細(xì)資料】系統(tǒng)概述真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。常用于對(duì)半導(dǎo)體、光伏、電子、精密光學(xué)等行業(yè)的納米級(jí)表面處理。系統(tǒng)原理通過(guò)電子槍發(fā)射高壓電子轟擊坩堝中的待鍍靶材,使其在高真空下蒸發(fā)并沉積在被鍍基片上以獲得鍍膜。系統(tǒng)配置*自動(dòng)化控制器:e-ControlPLC,是控制系統(tǒng)的硬件平臺(tái)。人機(jī)界面硬件:TPC1503工業(yè)級(jí)15寸觸摸式平板電腦,穩(wěn)定可靠。人機(jī)界面軟件:NETSCADA組態(tài)軟件開(kāi)發(fā)平臺(tái),提供真空鍍膜機(jī)的控制和監(jiān)視。該技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)多種形狀的鍍膜,如平面、球面、非球面等,可以應(yīng)用于不同形狀的產(chǎn)品。
【真空鍍膜機(jī)之卷繞機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)中應(yīng)考慮的問(wèn)題】①提高卷繞速度的問(wèn)題。卷繞速度即是帶狀基材運(yùn)動(dòng)的線速度,它是卷繞機(jī)構(gòu)的一個(gè)主要技術(shù)指櫟。國(guó)內(nèi)早期鍍膜機(jī)卷繞速度只有10m/min,現(xiàn)在也只有80m/min~120m/min,在國(guó)外日本的EW系列產(chǎn)品中,其卷繞速度已達(dá)到300m/min,德國(guó)L.H公司生產(chǎn)的鍍膜機(jī)已達(dá)到600m/min,可見(jiàn)隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展,卷繞速度有待提高。②帶狀基材的線速恒定問(wèn)題。這一問(wèn)題也很重要,因?yàn)橹挥芯砝@機(jī)構(gòu)保證帶狀基材的線速恒定,才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點(diǎn)對(duì)制備帶狀基材的功能性膜(如電容器膜)尤為重要。③帶狀基材的跑偏和起褶問(wèn)題。隨著卷繞速度的提高,帶狀基材在卷繞鍍膜過(guò)程中,起褶和發(fā)生偏斜,嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成基材的斷裂,使生產(chǎn)中斷,既影響生產(chǎn)效率,又浪費(fèi)材料。因此,在卷繞機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)中應(yīng)充分考慮這一問(wèn)題。該技術(shù)可以應(yīng)用于多種行業(yè),如電子、光學(xué)、醫(yī)療、航空航天等,可以提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。湖南PVC鍍膜卷繞真空鍍膜批發(fā)價(jià)格
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【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項(xiàng)檢查措施,簡(jiǎn)稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏。因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩?huì)在不同程度上產(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。二、測(cè)試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。三、檢查漏孔的da小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實(shí)施。四、確定檢測(cè)儀器的小可檢漏率和檢漏靈敏性,以da范圍的檢測(cè)出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準(zhǔn)確性。五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間。把時(shí)間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時(shí)間少了,檢漏效果肯定差,時(shí)間長(zhǎng)了,浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。六、還要避免漏孔堵塞。有時(shí)由于操作失誤,檢漏過(guò)程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒(méi)有漏孔,但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩(wěn)定鍍膜的效果。貴州卷繞真空鍍膜源頭實(shí)力廠家