【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場(chǎng)，在此區(qū)電子密度高，進(jìn)而提高離子密度，使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級(jí))，濺射速度可達(dá)0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳，是目前實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室，排氣系統(tǒng)，濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang（sputtergun）。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30-40%，圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為：直流（DC）、射頻（RF）、脈沖（pulse），直流：800-1000V（Max）導(dǎo)體用，須可災(zāi)弧。射頻：13.56MHZ，非導(dǎo)體用。脈沖：泛用，新發(fā)展出真空鍍膜機(jī)的產(chǎn)業(yè)集群。湖北真空鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜的膜層結(jié)構(gòu)分布】基材：ABS、PC、ABS+PC、PP、PPMA、POM等樹脂類均可成型真空電鍍,要求底材為純?cè)?電鍍級(jí)別更佳,不可加再生材;底漆：UV底漆,對(duì)基材表面做預(yù)處理,為膜層的附著提供活性界面,底漆厚度一般在5-10um,特殊情況可酌情加厚;膜層：靶材蒸發(fā)的結(jié)果，VM膜層可導(dǎo)電，NCVM鍍層不導(dǎo)電，且抗干擾性效果很好,膜層厚度0.3um以下。面漆：面漆利用三基色原理可與色漿搭配出各類顏色,同時(shí)對(duì)真空膜層起保護(hù)作用,再加上UV、PU的表面裝飾,效果更漂亮,厚度一般在8-10um,特殊情況可酌情加厚。離子束清洗射頻離子源價(jià)格射頻離子源可用于制備納米材料、薄膜、光學(xué)器件等高科技產(chǎn)品。
【真空鍍膜機(jī)之卷繞式鍍膜機(jī)】鍍膜產(chǎn)品廣fan用于裝飾、包裝、電容器等領(lǐng)域中，可鍍光學(xué)、電學(xué)、電磁、導(dǎo)電等多種薄膜。所用基材有PE、PET、PI、PP、OPP、BOPP、紙、泡沫塑料及布等。一般塑料基薄膜材料含水量為1%～2%，紙含水量更da，一般為5%-7%，經(jīng)涂布烘干后，含水量仍有3%。由于基材含水量高，故鍍膜室由初始的單室發(fā)展到目前雙室或多室結(jié)構(gòu)。蒸發(fā)源可以是電阻式、感應(yīng)式、電子柬式以及磁控濺射式。雙室結(jié)構(gòu)應(yīng)用普遍，其優(yōu)點(diǎn)是：①可以蒸鍍放氣量較da的紙基材，并能保障鍍膜質(zhì)量。紙放出的da量氣體從卷繞室中被排走。由于卷繞室與蒸鍍室之間隔板窄縫很小，使放出來(lái)的氣體不易進(jìn)入蒸鍍室中；②單室結(jié)構(gòu)必須配置較da的排氣系統(tǒng)才能保障蒸鍍時(shí)的工作壓力，而雙室結(jié)構(gòu)中的蒸鍍室氣體量較小，可配小型抽氣機(jī)組，使設(shè)備成本降低，并節(jié)約能源；③卷繞室與蒸鍍室分別抽氣，可縮短抽氣時(shí)間。卷繞式真空鍍膜機(jī)在結(jié)構(gòu)上除了有一般鍍膜機(jī)所有的結(jié)構(gòu)外，必須有一個(gè)為了實(shí)現(xiàn)連續(xù)鍍膜而設(shè)置的卷繞機(jī)構(gòu)。由于被鍍基體是紙或塑料，放氣量較da，因此，在真空室的結(jié)構(gòu)上又有單室和多室之分。
【真空鍍膜機(jī)有哪些污染源】真空鍍膜機(jī)是由許多精密的零部件所組成的，這些零部件均經(jīng)過(guò)許多機(jī)械加工流程而制作出來(lái)，如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因?yàn)橛辛诉@些工作，導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會(huì)沾染一些加工帶來(lái)的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā)，從而對(duì)設(shè)備的極限真空造成影響。此外，這些機(jī)械加工帶來(lái)的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體，而到了真空狀態(tài)下，這些原先吸附的氣體也會(huì)被再次釋放出來(lái)，成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā)，將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜，對(duì)其絕緣強(qiáng)度有一定的損壞，對(duì)其測(cè)量的準(zhǔn)確性也有一定的影響；2、由于高溫蒸發(fā)，會(huì)使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜；3、由于工件濺射，離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被濺散物所污染；4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被其蒸鍍靶材材料污染；5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng)，該系統(tǒng)會(huì)受蒸發(fā)出來(lái)的物質(zhì)所污染；6、真空鍍膜設(shè)備中的擴(kuò)散泵油、機(jī)械泵油等更是一da主要污染來(lái)源，鍍膜機(jī)長(zhǎng)期工作后，設(shè)備內(nèi)部可能會(huì)形成一層油膜。真空鍍膜機(jī)的操作視頻。
【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開(kāi)放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開(kāi)，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開(kāi)機(jī)前，要注意檢漏。方法：?jiǎn)?dòng)維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)廠家排名。河南真空鍍膜射頻離子源源頭實(shí)力廠家
真空鍍膜機(jī)大概多少錢一臺(tái)？湖北真空鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家
本發(fā)明涉及離子束濺射鍍膜及超精密拋光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種射頻離子源離子束束徑約束器、束徑控制裝置及方法。背景技術(shù)：離子束超精密加工研究中，離子源起著非常重要的作用。離子源是產(chǎn)生離子束流的裝置，又是離子束設(shè)備中的關(guān)鍵部件。不論是光學(xué)薄膜的制備還是納米尺度的離子束刻蝕和拋光，高性能的離子束流都是不可缺少的。目前采用的離子束源主要有考夫曼離子源、微波ecr離子源和射頻離子源，其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，并被引出成束，成為離子源。射頻離子源由德國(guó)giessen大學(xué)，，從電火箭空間應(yīng)用向地面應(yīng)用擴(kuò)展而來(lái)。這種離子源具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)極放電的優(yōu)點(diǎn)，因而對(duì)任何氣體特別是反應(yīng)氣體具有長(zhǎng)壽命、效率高的特點(diǎn)。采用射頻離子源鍍制的膜層具有吸收少、漂移小、效率高、致密性好、牢固性高等優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)，射頻離子源離子束拋光在超精密光學(xué)元件的**終加工中應(yīng)用也非常***，是一種去除精度達(dá)到原子級(jí)別的拋光技術(shù)，被認(rèn)為是加工精度**高，修形效果**好的光學(xué)元件修形技術(shù)，在此過(guò)程中，具有一定能量和空間分布的離子束流轟擊光學(xué)元件表面，利用轟擊時(shí)發(fā)生的物理濺射效應(yīng)去除光學(xué)元件表面材料。湖北真空鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家