無塵室內(nèi)的工作桌椅等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象的發(fā)生,相對(duì)應(yīng)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少比較低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。那么影響無塵室氣流的因素都有那些呢?讓我們來看看吧。影響無塵室的氣流因素有很多,比如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等因素,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素當(dāng)中。 無塵室空氣潔凈的原理與解析;珠海100000級(jí)無塵室
復(fù)合式無塵室為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。⑵潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。⑶并裝局部無塵室(CleanSpot):將無塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 郴州無塵室咨詢無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素。
無塵室建造選址:無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營(yíng)費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場(chǎng)、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。1、廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點(diǎn)和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。2、廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時(shí)堆放場(chǎng)地、停車庫、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施。輔助設(shè)施必須因地制宜,按實(shí)際需要配套,缺一都會(huì)影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進(jìn)行。3、設(shè)置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對(duì)位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對(duì)位置,適用于遠(yuǎn)離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風(fēng)側(cè),并有一定防護(hù)距離的原則。
若想檢驗(yàn)無塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮。其中風(fēng)速、溫濕度的氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min),一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃,一般濕度控制范圍:(45±5)%RH;壓差是在兩個(gè)無塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa,而在無塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí),維持5Pa的較小壓力差是可以接受的。無塵室的構(gòu)成要求是不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕,也不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子,而且吸濕性小,但是為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。
無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。
無塵室和凈化空調(diào)系統(tǒng)是息息相關(guān)的,在長(zhǎng)期的使用過程中,空調(diào)系統(tǒng)也會(huì)產(chǎn)生各種不同的細(xì)菌,這對(duì)無塵室的實(shí)際作用也會(huì)產(chǎn)生一定的影響,因此,需要進(jìn)行定期的清洗消毒,來提高實(shí)際的使用效率。我們?yōu)榱耸篃o塵室內(nèi)能夠保持所需要的溫度、濕度、風(fēng)速、壓力和潔凈度等重要參數(shù),通常**常用的方法是向室內(nèi)不斷送入一定量并且經(jīng)過處理的空氣,這樣才能更好的消除無塵室內(nèi)外各種熱濕干擾及塵埃污染,我們?yōu)楂@取無塵室能夠具有一定狀態(tài)的空氣,就需要一整套的設(shè)備對(duì)空氣不斷地進(jìn)行處理,并不斷送入室內(nèi),又不斷從室內(nèi)排出一部分來,這一整套設(shè)備就構(gòu)成了凈化空調(diào)系統(tǒng)。無塵室內(nèi)通常會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。珠海100000級(jí)無塵室
無塵室能除去空氣中飄游之微塵粒子。珠海100000級(jí)無塵室
影響無塵室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺(tái)因而將受到污染,良率也勢(shì)必降低。無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少比較低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。 珠海100000級(jí)無塵室
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