無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無(wú)塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么無(wú)塵室是由哪幾個(gè)部分組成的呢?無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室:⑴天花板系統(tǒng)包括吊桿、綱梁、天花板格子梁。⑵空調(diào)系統(tǒng)包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。⑶隔墻板包括窗戶、門。⑷地板包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。⑸照明器具包括日光燈、黃色燈管等。⑹無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造,這個(gè)一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;C.吸濕性小;D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。無(wú)塵室能防止微塵粒子之產(chǎn)生。陽(yáng)江100000級(jí)無(wú)塵室方案
無(wú)塵室潔凈工作臺(tái)普遍應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、制藥、生化實(shí)驗(yàn)、電子、精密儀器、儀表等行業(yè),并提供無(wú)菌無(wú)塵潔凈環(huán)境的局部?jī)艋O(shè)備。
潔凈工作臺(tái)使用時(shí)的操作流程:
1.新安裝或長(zhǎng)期未使用的工作臺(tái),使用前用超凈真空吸塵器或不產(chǎn)生纖維的物品認(rèn)真進(jìn)行清潔工作。
2.接通電源,使用前應(yīng)提前15~30 分鐘同時(shí)開啟紫外燈和風(fēng)機(jī)組工作。
3.當(dāng)需要調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)風(fēng)速時(shí),用工作臺(tái)操作面板上的風(fēng)速調(diào)節(jié)鈕進(jìn)行調(diào)節(jié)。風(fēng)機(jī)、照明均由批示燈指示其工作狀態(tài),工作時(shí),發(fā)光。
4.工作臺(tái)面上禁止存放不必要的物品,以保持工作區(qū)的潔凈氣流不受干擾。
5.禁止在工作臺(tái)面上記錄書寫,工作時(shí)應(yīng)盡量避免作明顯擾動(dòng)氣流的動(dòng)作;禁止在預(yù)過濾進(jìn)風(fēng)口部位放置物品,以免擋住進(jìn)風(fēng)口造成進(jìn)風(fēng)量減少,降低凈化能力。
6.使用結(jié)束后,用消毒液清理工作臺(tái)面后打開紫外燈,15~30 分鐘后關(guān)閉紫外燈,關(guān)閉潔凈臺(tái)電源。
7.長(zhǎng)期不使用的工作臺(tái)請(qǐng)撥下電源插頭。
吉安100級(jí)無(wú)塵室裝修進(jìn)入無(wú)塵室前需在規(guī)定之處所脫鞋,將鞋置于鞋柜內(nèi),外衣置于衣柜內(nèi),柜內(nèi)不可放置食物。
無(wú)塵室建造選址:無(wú)塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營(yíng)費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場(chǎng)、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無(wú)塵車間與交通主干道間距宜50米以上。1、廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點(diǎn)和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。2、廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉(cāng)庫(kù)、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時(shí)堆放場(chǎng)地、停車庫(kù)、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施。輔助設(shè)施必須因地制宜,按實(shí)際需要配套,缺一都會(huì)影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進(jìn)行。3、設(shè)置有無(wú)塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對(duì)位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對(duì)位置,適用于遠(yuǎn)離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風(fēng)側(cè),并有一定防護(hù)距離的原則。
若想檢驗(yàn)無(wú)塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮。其中風(fēng)速、溫濕度的氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min),一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃,一般濕度控制范圍:(45±5)%RH;壓差是在兩個(gè)無(wú)塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa,而在無(wú)塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí),維持5Pa的較小壓力差是可以接受的。無(wú)塵室的構(gòu)成要求是不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕,也不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子,而且吸濕性小,但是為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。
進(jìn)入無(wú)塵室嚴(yán)禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報(bào)章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,并嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及團(tuán)聚談天。
無(wú)塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為潔凈室。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。無(wú)塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡(jiǎn)單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間,將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)或過濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。東莞1000級(jí)無(wú)塵室裝修
無(wú)塵室的含義是什么?陽(yáng)江100000級(jí)無(wú)塵室方案
無(wú)塵室的等級(jí)是依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。無(wú)塵室的適用范圍很廣,只要潔凈要求比較高的都會(huì)用到。陽(yáng)江100000級(jí)無(wú)塵室方案
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