空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設(shè)備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度；對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)（惡化的潔凈度下），對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力；(4)末級過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度；為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積**??；(5)經(jīng)濟(jì)性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果；(6)對潔凈度要求低的無塵室工程，有時換氣次數(shù)。興元環(huán)境致力于中央空調(diào)系統(tǒng)、各級別潔凈系統(tǒng)、機(jī)電安裝總包工程的方案設(shè)計、安裝施工、售后服務(wù)?；葜?000級無塵室方案
潔凈室的管理與維護(hù)： 1、根據(jù)自凈時間確定工作前提前開機(jī)時間。 2、凈化系統(tǒng)開機(jī)運行時，應(yīng)先開空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)，然后開回風(fēng)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)；停機(jī)則相反。 3、凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)定期進(jìn)行清潔。 4、空氣過濾器應(yīng)定期監(jiān)測阻力，粗、中效過濾器應(yīng)經(jīng)常清洗、更換。 5、一般應(yīng)根據(jù)室外含塵濃度，在粗、中效過濾器阻力達(dá)到初阻力2倍時，進(jìn)行更換。 6、正常情況，粗效過濾器的濾材每7-15天清洗一次；中效過濾器的濾材每月清洗或更換。 7、高效過濾器當(dāng)監(jiān)測阻力達(dá)到初阻力2倍時，需進(jìn)行更換。 東莞十萬級無塵室安裝無塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會用到。
影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少比較低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
無塵室建造所需要的材料要滿足保溫隔熱、隔音防振等等這些之外，更需要重視的一點是建筑材料表面不產(chǎn)塵、不積塵、建造一座無塵室就是為了提高潔凈度，達(dá)到一個無塵無菌的工作環(huán)境，如果用來建造的材料容易產(chǎn)塵，那么就會破壞無塵室的潔凈度，起到了一個反向的作用。另外還要注意靜電的產(chǎn)生，因此要有良好的除靜電設(shè)施。無塵室的密封性要強(qiáng)，不然會導(dǎo)致無塵室空氣的外泄或外界的空氣侵入進(jìn)來，破壞無塵室室內(nèi)環(huán)境的潔凈度，從而造成污染。無塵室裝修材料有：1.木工材料：大芯板，九厘板，面板，線條，石膏板，木龍骨，小五金，乳膠，防潮油等；2.室內(nèi)裝飾材料主要可分為實材、板材、片材、型材、線材等五個類型。根據(jù)不同的需求有不同的類型。常見的可分為兩種類型，一是墻體裝飾材料，一是地面裝飾材料。 無塵室能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
若想檢驗無塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個方面考慮。其中風(fēng)速、溫濕度的氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)，一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃，一般濕度控制范圍:(45±5)%RH；壓差是在兩個無塵室間合理的設(shè)計壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認(rèn)潔凈等級的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的較小壓力差是可以接受的。無塵室的構(gòu)成要求是不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕，也不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子，而且吸濕性小，但是為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
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無塵室的定義：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)或過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)?；葜?000級無塵室方案
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