影響無塵室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,亦應(yīng)列入考慮因素。一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少比較低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。 如何做好無塵室的管理工作保證無塵室的潔凈度?贛州1000級無塵室施工
21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時,就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。江西十萬級無塵室裝修無塵室內(nèi)穿著潔凈服。
簡易無塵室和無塵車間定義有何不同?
簡易無塵室是指在無塵車間內(nèi)用防靜電網(wǎng)格簾或有機玻璃圍一個小空間,上方采用HEPA及FFU送風(fēng)單元組成一相對無塵車間較高凈化級別的空間,簡易無塵室可配風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備。
無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,這樣的一個空間我們一凈稱之為無塵車間。
由于生產(chǎn)的產(chǎn)品各不相同,其原料在物理性和化學(xué)性方面的差別也很大,對環(huán)境和人的身體產(chǎn)生不同程度的傷害。我們要處理的多數(shù)是化學(xué)性方面的性質(zhì),如有毒原料,揮發(fā)性、刺激性、腐蝕性氣體原料等。這就要求生產(chǎn)車間的通風(fēng)工程根據(jù)實際情況有著科學(xué)的設(shè)計。 潔凈區(qū)的風(fēng)速、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)根據(jù)空調(diào)系統(tǒng)操作規(guī)程,定時監(jiān)測。溫濕度通過溫濕度傳感器對不符合要求的溫濕度進(jìn)行室外監(jiān)控記錄,達(dá)到及時調(diào)節(jié)的目的。以制藥廠的三苯精烘包結(jié)晶間為例,風(fēng)量的壓強差經(jīng)過風(fēng)量的調(diào)節(jié)使其平衡基本保持恒定,因為這里和工藝走廊相比要求維持一個相對負(fù)壓,當(dāng)各級過濾器出現(xiàn)阻擋和栓塞的情況時,可以適當(dāng)調(diào)節(jié)送風(fēng)量變頻,改變送風(fēng)機的頻率,增大壓頭,克服過濾器的栓塞的情況時,可以適當(dāng)調(diào)節(jié)送風(fēng)量變頻,改變送風(fēng)機的頻率,增大壓頭,克服過濾器的栓塞阻力,保證房間的送風(fēng)量,保證結(jié)晶間的壓差,從而達(dá)到凈化的目的。無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響。
有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用無塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨無塵室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)無塵室工程而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:(1)無塵室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;(2)無塵室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;(3)自凈時間(恢復(fù)時間)的控制要求:無塵室中事故釋放或帶入污染物。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室,并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)?;葜?000級無塵室安裝
無塵室的分類有哪些?贛州1000級無塵室施工
層流式潔凈室:層流式空氣氣流運動成一均勻直線形,空氣過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種: (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在***側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可達(dá)到要求,穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。 缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。 (2)垂直層流式:空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。 優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。 贛州1000級無塵室施工
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