無(wú)塵室方案

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-08-10

簡(jiǎn)易無(wú)塵室和無(wú)塵車(chē)間定義有何不同?

簡(jiǎn)易無(wú)塵室是指在無(wú)塵車(chē)間內(nèi)用防靜電網(wǎng)格簾或有機(jī)玻璃圍一個(gè)小空間,上方采用HEPA及FFU送風(fēng)單元組成一相對(duì)無(wú)塵車(chē)間較高凈化級(jí)別的空間,簡(jiǎn)易無(wú)塵室可配風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備。

無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵車(chē)間主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,這樣的一個(gè)空間我們一凈稱之為無(wú)塵車(chē)間。


無(wú)塵室的潔凈度往往受到氣流的影響。無(wú)塵室方案

    21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。無(wú)塵室方案如何保證無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度,清潔是重要的手段之一。

空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化,恢復(fù)到原來(lái)潔凈度的自凈時(shí)間決定于氣流速度;對(duì)自凈時(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下),對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;(4)末級(jí)過(guò)濾器的效率:在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下,可采用較高效率的過(guò)濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過(guò)濾器,并降低氣流速度,或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積**??;(5)經(jīng)濟(jì)性考慮:過(guò)大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過(guò)大往往不必要,亦不一定有效果;(6)對(duì)潔凈度要求低的無(wú)塵室工程,有時(shí)換氣次數(shù)。

    由于生產(chǎn)的產(chǎn)品各不相同,其原料在物理性和化學(xué)性方面的差別也很大,對(duì)環(huán)境和人的身體產(chǎn)生不同程度的傷害。我們要處理的多數(shù)是化學(xué)性方面的性質(zhì),如有毒原料,揮發(fā)性、刺激性、腐蝕性氣體原料等。這就要求生產(chǎn)車(chē)間的通風(fēng)工程根據(jù)實(shí)際情況有著科學(xué)的設(shè)計(jì)。潔凈區(qū)的風(fēng)速、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)根據(jù)空調(diào)系統(tǒng)操作規(guī)程,定時(shí)監(jiān)測(cè)。溫濕度通過(guò)溫濕度傳感器對(duì)不符合要求的溫濕度進(jìn)行室外監(jiān)控記錄,達(dá)到及時(shí)調(diào)節(jié)的目的。以制藥廠的三苯精烘包結(jié)晶間為例,風(fēng)量的壓強(qiáng)差經(jīng)過(guò)風(fēng)量的調(diào)節(jié)使其平衡基本保持恒定,因?yàn)檫@里和工藝走廊相比要求維持一個(gè)相對(duì)負(fù)壓,當(dāng)各級(jí)過(guò)濾器出現(xiàn)阻擋和栓塞的情況時(shí),可以適當(dāng)調(diào)節(jié)送風(fēng)量變頻,改變送風(fēng)機(jī)的頻率,增大壓頭,克服過(guò)濾器的栓塞的情況時(shí),可以適當(dāng)調(diào)節(jié)送風(fēng)量變頻,改變送風(fēng)機(jī)的頻率,增大壓頭,克服過(guò)濾器的栓塞阻力,保證房間的送風(fēng)量,保證結(jié)晶間的壓差,從而達(dá)到凈化的目的。 無(wú)塵室的設(shè)計(jì)與裝修有什么意義?

無(wú)塵室是指將環(huán)境因素控制在某個(gè)規(guī)定范圍內(nèi)的空間。主要控制的要素包括:環(huán)境溫度、濕度、氣流組織型式、風(fēng)速、塵埃粒子、微生物、氣體分子、壓差、照度、噪音、微振動(dòng)、靜電、風(fēng)量等;它是為了滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或生物、醫(yī)學(xué)等特殊要求,而將給予特別設(shè)計(jì)和建造的生產(chǎn)車(chē)間或具有特殊用途的房間(如:手術(shù)室);不論外在的空氣條件如何變化,其潔凈室內(nèi)的環(huán)境均能達(dá)到原本設(shè)定的空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、靜電、微生物等多項(xiàng)性能指標(biāo),并保持穩(wěn)定。潔凈室(亦稱無(wú)塵室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。無(wú)塵室方案

無(wú)塵室(亦稱潔凈室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。無(wú)塵室方案

    無(wú)塵室建造選址:無(wú)塵車(chē)間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營(yíng)費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場(chǎng)、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無(wú)塵車(chē)間與交通主干道間距宜50米以上。1、廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點(diǎn)和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。2、廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉(cāng)庫(kù)、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時(shí)堆放場(chǎng)地、停車(chē)庫(kù)、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施。輔助設(shè)施必須因地制宜,按實(shí)際需要配套,缺一都會(huì)影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進(jìn)行。3、設(shè)置有無(wú)塵室的廠房與廠外周?chē)h(huán)境的相對(duì)位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對(duì)位置,適用于遠(yuǎn)離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風(fēng)側(cè),并有一定防護(hù)距離的原則。 無(wú)塵室方案

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