21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結構的變革,無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。監(jiān)控無塵室在使用過程中正常的運行和維護,應對室內(nèi)的運行狀況及相關設施進行定期檢查。珠海百級無塵室方案
主要的無塵室設備包括風機過濾網(wǎng)裝置、風淋室及傳遞箱。風機過濾網(wǎng)裝置共同形成一個凈化無塵室室內(nèi)空氣的特別的邏輯控制風扇系統(tǒng)。風淋室旨在于物體進入無塵室之前,透過高壓及大流量空氣將該物體吹洗及沖洗乾凈。傳遞箱旨在透過互鎖裝置在無塵室和非無塵室的環(huán)境之間傳遞產(chǎn)品。這些設備均是旨在避免運作中的無塵室設施免受污染及干擾的設備。
無塵室的主要終端用戶行業(yè)為半導體、電子、醫(yī)藥、醫(yī)院及醫(yī)療保健等,其中半導體行業(yè)以及醫(yī)藥及醫(yī)療保健行業(yè)為無塵室設施市場的主要驅(qū)動力。 深圳100級無塵室安裝無塵室在設計與裝修時與業(yè)主雙方要協(xié)商好。
無塵室是污染控制的基礎。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么無塵室是由哪幾個部分組成的呢?無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:⑴天花板系統(tǒng)包括吊桿、綱梁、天花板格子梁。⑵空調(diào)系統(tǒng)包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。⑶隔墻板包括窗戶、門。⑷地板包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。⑸照明器具包括日光燈、黃色燈管等。⑹無塵室之建筑主體構造,這個一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;C.吸濕性小;D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。
根據(jù)國際標準ISO 14644-6以及我國國家標準GB/T 25915-6'潔凈室及相關受控環(huán)境“和”潔凈廠房設計規(guī)范“G 50073-2001中名詞解釋,無塵室就是”室內(nèi)空氣中的懸浮粒子(灰塵、微生物......)濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生和滯留粒子。同時,還要根據(jù)不同生產(chǎn)工藝的要求對室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、靜電、振動、噪聲等各種參數(shù)也要進行控制的房間。無塵室已普遍應用于電子制造、光學光電、印刷包裝、日化行業(yè)、生物制藥等各行各業(yè)。并用,隨著科學技術和國民經(jīng)濟的迅猛發(fā)展,潔凈室和潔凈技術的應用將越來越普遍、越深入、越重要。塵室目前是半導體工業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)不可或缺的重要設施,其主要的作用是控制產(chǎn)品所接觸空氣環(huán)境的潔凈度。
通常無塵室的氣流設計工藝為單向氣流,無塵室內(nèi)生產(chǎn)設備的設計和擺放應充分考慮到氣流的方向不被阻礙。無塵室既然是潔凈室,顧名思義它就是為了控制污染源,提高產(chǎn)品潔凈度而設計的高潔凈度生產(chǎn)車間。造成污染源的因素有很多,而人的因素是污染比較大的源頭,所以對人的行為等控制相對也會嚴格一些,當然其它因素也是不容忽視的??偠灾?,它只是比普通環(huán)境更加干凈的工作車間,并不會對人體造成任何威脅,要保證潔凈室的環(huán)境必須進行嚴格控制,單單靠硬件工作是不夠的,外來的污染源頭也是我們在無塵室環(huán)境污染控制的重中之重!
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。珠海100000級無塵室施工
無塵室(亦稱潔凈室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。珠海百級無塵室方案
無塵室內(nèi)的工作桌椅等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象的發(fā)生,相對應地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現(xiàn)象減少比較低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。那么影響無塵室氣流的因素都有那些呢?讓我們來看看吧。影響無塵室的氣流因素有很多,比如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等因素,同時對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素當中。 珠海百級無塵室方案
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