如果我們要建造一個(gè)簡易的無塵室需要按照以下步驟酌情進(jìn)行：首先第一步要確定無塵室的具體環(huán)境參數(shù)，根據(jù)業(yè)主的用途，可能包括但不僅限于潔凈度、溫濕度、細(xì)菌數(shù)量、風(fēng)速、氣流分布要求等等。然后找專業(yè)的設(shè)計(jì)師進(jìn)行工程設(shè)計(jì)，同時(shí)做好相應(yīng)的報(bào)建、消防備案等行政審批工作。第二步再尋找專業(yè)的潔凈室施工企業(yè)，根據(jù)圖紙報(bào)價(jià)，并組織競標(biāo)。第三步就是簽訂施工合同，施工方準(zhǔn)備好材料進(jìn)行施工。完工之后進(jìn)行測試，驗(yàn)收。無塵室就可以正式投入使用了。
無塵室內(nèi)穿著潔凈服。惠州10000級無塵室方案
潔凈室的主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。東莞1000級無塵室方案無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響。
無塵室的定義：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)或過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。
21世界，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。無塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會用到。
萬級無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)如下：1.塵粒比較大允許數(shù)（每立方米）；2.大或等于，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個(gè)；3.微生物比較大允許數(shù)；4.浮游菌數(shù)不得超過100個(gè)每立方米；5.沉隆菌數(shù)不得超過3個(gè)每培養(yǎng)皿。6.壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。7.萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，8.溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季24~26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。9.配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。10.噪聲控制一、動態(tài)測試時(shí)，萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。二、靜態(tài)測試時(shí)，萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。 無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。東莞1000級無塵室方案
無塵室的環(huán)境是怎么樣的？惠州10000級無塵室方案
若想檢驗(yàn)無塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮。其中風(fēng)速、溫濕度的氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)，一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃，一般濕度控制范圍:(45±5)%RH；壓差是在兩個(gè)無塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認(rèn)潔凈等級的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí)，維持5Pa的較小壓力差是可以接受的。無塵室的構(gòu)成要求是不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕，也不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子，而且吸濕性小，但是為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
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