無塵室是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么無塵室是由哪幾個(gè)部分組成的呢？無塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:⑴天花板系統(tǒng)包括吊桿、綱梁、天花板格子梁。⑵空調(diào)系統(tǒng)包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。⑶隔墻板包括窗戶、門。⑷地板包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。⑸照明器具包括日光燈、黃色燈管等。⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造，這個(gè)一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件:A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子;C.吸濕性小;D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。對(duì)無塵室 C/R 而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。吉安無塵室裝修
無塵室裝修的標(biāo)準(zhǔn)：1、無塵室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。(2)踢腳不應(yīng)突出墻面。(3)無塵室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時(shí)宜干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用高級(jí)抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。2、無塵室地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室地面應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。(2)無塵室地面應(yīng)平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。(3)地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)做防潮構(gòu)造。3、潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面應(yīng)平整、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。4、無塵室（區(qū)）外窗設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:(1)當(dāng)無塵室（區(qū)）和人員凈化用室設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層玻璃固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性。(2)靠無塵室室內(nèi)一側(cè)窗不宜設(shè)窗臺(tái)。5、無塵室內(nèi)的密閉門應(yīng)朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并加設(shè)閉門器，無窗無塵室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。6、無塵室門窗、墻壁、頂棚等的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密閉措施。。 深圳10000級(jí)無塵室安裝進(jìn)入無塵室嚴(yán)禁吸煙，吃(飲)食，外來雜物(如報(bào)章，雜志，鉛筆...等)不可攜入，并嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及團(tuán)聚談天。
無塵室價(jià)格、無塵室工程、無塵室廠家、無塵室裝修無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。如表所示。
萬級(jí)無塵室，亦稱為無塵室或清凈室。在FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalStandard(FS)209E,1992】，可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為μm，例如，1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無塵室比較大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是μm，無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
無塵室工程主要包括無塵室設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)是重點(diǎn)。而無塵室工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實(shí)時(shí)檢測(cè)，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個(gè)環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)三個(gè)占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估、生產(chǎn)認(rèn)證的概念和程序；加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學(xué)科的特點(diǎn)：使之無塵室工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對(duì)于無塵室工程行業(yè)來說，優(yōu)化設(shè)計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)的經(jīng)驗(yàn)積累，對(duì)客戶需求的理解和實(shí)現(xiàn)，以及對(duì)設(shè)計(jì)變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無塵室施工團(tuán)隊(duì)能力的重要指標(biāo)。無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)。深圳10000級(jí)無塵室安裝
塵室目前是半導(dǎo)體工業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施，其主要的作用是控制產(chǎn)品所接觸空氣環(huán)境的潔凈度。吉安無塵室裝修
21世界，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。吉安無塵室裝修
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