無塵室溫濕度控制方法：
1、無塵室溫濕度維護(hù)管理。
①無塵室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。
②隔間板、地板等無塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵控制、生產(chǎn)自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專門使用器等。
2、室內(nèi)發(fā)塵不積留。
墻壁體應(yīng)光滑無死角、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。
3、發(fā)生塵埃排除。
換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。
無塵室空氣潔凈的原理與解析；佛山100000級無塵室施工
21世界，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。珠海100級無塵室無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。
亂流式潔凈室是空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板進(jìn)行回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級千級至-十萬級。 優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室擴(kuò)充比較容易； 缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***，欲需達(dá)到設(shè)定要求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間進(jìn)行自凈。
無塵室裝修的標(biāo)準(zhǔn)：1、無塵室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。(2)踢腳不應(yīng)突出墻面。(3)無塵室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時(shí)宜干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用高級抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。2、無塵室地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室地面應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。(2)無塵室地面應(yīng)平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。(3)地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)做防潮構(gòu)造。3、潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面應(yīng)平整、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。4、無塵室（區(qū)）外窗設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:(1)當(dāng)無塵室（區(qū)）和人員凈化用室設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層玻璃固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性。(2)靠無塵室室內(nèi)一側(cè)窗不宜設(shè)窗臺。5、無塵室內(nèi)的密閉門應(yīng)朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并加設(shè)閉門器，無窗無塵室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。6、無塵室門窗、墻壁、頂棚等的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密閉措施。。 如何保證無塵室內(nèi)的潔凈度，清潔是重要的手段之一。
無塵室建造所需要的材料要滿足保溫隔熱、隔音防振等等這些之外，更需要重視的一點(diǎn)是建筑材料表面不產(chǎn)塵、不積塵、建造一座無塵室就是為了提高潔凈度，達(dá)到一個(gè)無塵無菌的工作環(huán)境，如果用來建造的材料容易產(chǎn)塵，那么就會破壞無塵室的潔凈度，起到了一個(gè)反向的作用。另外還要注意靜電的產(chǎn)生，因此要有良好的除靜電設(shè)施。無塵室的密封性要強(qiáng)，不然會導(dǎo)致無塵室空氣的外泄或外界的空氣侵入進(jìn)來，破壞無塵室室內(nèi)環(huán)境的潔凈度，從而造成污染。無塵室裝修材料有：1.木工材料：大芯板，九厘板，面板，線條，石膏板，木龍骨，小五金，乳膠，防潮油等；2.室內(nèi)裝飾材料主要可分為實(shí)材、板材、片材、型材、線材等五個(gè)類型。根據(jù)不同的需求有不同的類型。常見的可分為兩種類型，一是墻體裝飾材料，一是地面裝飾材料。 無塵室中不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能特性。無塵室安裝
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潔凈室主要塵源： 1、產(chǎn)品及設(shè)施 無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品、材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬墻壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下。 2、人 發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵量也在不斷減少。 A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量較大，以下依次為的確良、去靜電純滌綸、尼龍； B、樣式：大掛式發(fā)塵量大，上下分裝型次之，全罩型少； C、活動：動作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍； D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。 佛山100000級無塵室施工
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