珠海百級(jí)無(wú)塵室咨詢(xún)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-12-01

我們有很多人都不知道簡(jiǎn)易無(wú)塵室和無(wú)塵車(chē)間對(duì)于材料的選擇是不一樣的,其中簡(jiǎn)易無(wú)塵室對(duì)于框架一般可分為三種:不銹鋼方通、烤漆鐵方通以及工業(yè)鋁型材,頂部及可用不銹鋼鋼板、烤漆冷塑鋼板、防靜電網(wǎng)格簾及壓克力有機(jī)玻璃等材料。周?chē)话愣际遣捎梅漓o電網(wǎng)格簾或是有機(jī)玻璃,送風(fēng)部用均采用FFU潔凈送風(fēng)單元。而無(wú)塵車(chē)間一般采用泡沫彩鋼或是巖棉板吊頂有立墻,有單獨(dú)的空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng),空氣經(jīng)過(guò)初中高效三級(jí)過(guò)濾,人員及物料配有風(fēng)淋室及傳遞窗潔凈過(guò)濾。


無(wú)塵室(亦稱(chēng)潔凈室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。珠海百級(jí)無(wú)塵室咨詢(xún)

    21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。贛州百級(jí)無(wú)塵室無(wú)塵室日常管理需要注意的問(wèn)題;

無(wú)塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱(chēng)之為潔凈室。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。無(wú)塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡(jiǎn)單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過(guò)濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間,將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤(pán)管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)或過(guò)濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。

    萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)如下:1.塵粒比較大允許數(shù)(每立方米);2.大或等于,大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè);3.微生物比較大允許數(shù);4.浮游菌數(shù)不得超過(guò)100個(gè)每立方米;5.沉隆菌數(shù)不得超過(guò)3個(gè)每培養(yǎng)皿。6.壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。7.萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,8.溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。9.配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。10.噪聲控制一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí),萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò)70分貝A。二、靜態(tài)測(cè)試時(shí),萬(wàn)級(jí)亂流潔凈室的噪聲級(jí)不宜大于60分貝A。 無(wú)塵室的分類(lèi)有哪些?

無(wú)塵室人員管理,制定專(zhuān)職管理人員的職責(zé)、無(wú)塵室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入無(wú)塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理,物料進(jìn)入、各類(lèi)設(shè)備進(jìn)入,以及相關(guān)設(shè)備、管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理,包括潔凈服采購(gòu)和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理,對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的各種設(shè)備和設(shè)施的清掃滅菌方法,周期和檢查作明確的規(guī)定,防止、消除無(wú)塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴(yán)格各類(lèi)設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類(lèi)設(shè)備、設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類(lèi)水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和器具等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級(jí)別。無(wú)塵室能防止微塵粒子之產(chǎn)生。中山10000級(jí)無(wú)塵室方案

無(wú)塵室該怎么清潔呢?珠海百級(jí)無(wú)塵室咨詢(xún)

通常無(wú)塵室的氣流設(shè)計(jì)工藝為單向氣流,無(wú)塵室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)和擺放應(yīng)充分考慮到氣流的方向不被阻礙。無(wú)塵室既然是潔凈室,顧名思義它就是為了控制污染源,提高產(chǎn)品潔凈度而設(shè)計(jì)的高潔凈度生產(chǎn)車(chē)間。造成污染源的因素有很多,而人的因素是污染比較大的源頭,所以對(duì)人的行為等控制相對(duì)也會(huì)嚴(yán)格一些,當(dāng)然其它因素也是不容忽視的。總而言之,它只是比普通環(huán)境更加干凈的工作車(chē)間,并不會(huì)對(duì)人體造成任何威脅,要保證潔凈室的環(huán)境必須進(jìn)行嚴(yán)格控制,單單靠硬件工作是不夠的,外來(lái)的污染源頭也是我們?cè)跓o(wú)塵室環(huán)境污染控制的重中之重!


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