所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801),所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802),所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802)一側(cè)安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側(cè)安裝有膠水盛放箱(804),所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點(diǎn)膠頭(805),所述點(diǎn)膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側(cè)安裝有膠面收卷輥(807),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)一側(cè)安裝有電加熱箱(9),所述電加熱箱(9)下方安裝有熱風(fēng)噴頭(10),所述熱風(fēng)噴頭(10)下方安裝有干燥度感應(yīng)器(11),所述干燥度感應(yīng)器(11)下方安裝有電氣控制箱(12),所述電氣控制箱(12)上方安裝有液晶操作面板(13)。...【技術(shù)特征摘要】1.一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1)、橫向支架。哪家的剝離液的價(jià)格優(yōu)惠?惠州天馬用的蝕刻液剝離液價(jià)格
微電子化學(xué)品***適用于先進(jìn)半導(dǎo)體封裝測(cè)試、TFT、FPD平板顯示、LED、晶體硅太陽(yáng)能、PCB行業(yè)。類(lèi)別品名英文名等級(jí)ELMOSUP溶劑類(lèi)甲醇Methanol■ 甲苯Toluene■ 無(wú)水乙醇Ethanol■■ ■ 異丙醇IPA■■■**Acetone■■■N-甲基吡咯烷酮1-Methyl-2-pyrrolidinone■ ■ ■丙二醇甲醚PGME■ ■ ■丙二醇甲醚醋酸酯PGMEA■ ■ ■酸堿類(lèi)硫酸Sulfuric Acid■■■鹽酸Hydrochloric Acid■■ 硝酸Nitric Acid■■■氫氟酸Hydrofluoric Acid■■■磷酸Phosphoric Acid■■ 冰乙酸Acetic Acid,Glacial■■■過(guò)氧化氫Hydrogen Peroxide■■■氟化銨Ammonium Fluoride■■■氨水Ammonium Hydroxide■■■氫氧化鉀Potassium Hydroxide Liquid■ 氫氧化鈉Sodium Hydroxide Liquid■ 功能化學(xué)品銅蝕刻液Copper Etchant■ 鋁蝕刻液Aluminum Etchants■ BOE蝕刻液Amnonium Fluoride Etchants■■■ITO蝕刻液ITO Etchant■ IGZO蝕刻液IGZO Etchant■ 光刻膠剝離液(有機(jī)) Photoresist Stripper (Solvent)■ 光刻膠剝離液(水系)Photoresist Stripper (Aqueous) ■ 玻璃減薄液Glass Thinning Liquid■ 玻璃清洗液Glass cleaning solution■ 光刻膠顯影液Photoresist Developer■■■玻璃切削液Glass cutting fluid■ 化學(xué)研磨液Chemical grinding fluid■ 佛山哪家蝕刻液剝離液供應(yīng)商哪家剝離液質(zhì)量比較好一點(diǎn)?
本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域:,更具體的說(shuō)是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術(shù)::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應(yīng)用也越來(lái)越***。在半導(dǎo)體元器件制造過(guò)程中,經(jīng)過(guò)涂敷-顯影-蝕刻過(guò)程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時(shí)不能損傷任何基材,才能再進(jìn)行下道工序。因此,光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。而隨著電子行業(yè)的發(fā)展以及高世代面板的面世,光刻膠剝離液的使用越來(lái)越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹(shù)脂、水和某些金屬雜質(zhì),而剝離液廢液的處理主要是通過(guò)焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,對(duì)環(huán)境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此,申請(qǐng)人研發(fā)出以下的對(duì)使用后的光刻膠剝離液回收及再生方法。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種光刻膠剝離液再生方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:本申請(qǐng)公開(kāi)了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質(zhì)量組分:光刻膠剝離液再生方法,包括以下步驟:s1:回收剝離液新液使用后的剝離液廢液,將剝離液廢液經(jīng)過(guò)蒸餾、加壓工序,得出剝離液廢液的純化液體;純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;s2:制備添加劑。
實(shí)施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類(lèi)緩蝕劑、聚氧乙烯醚類(lèi)非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補(bǔ)足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對(duì)照例,與實(shí)施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進(jìn)行比較試驗(yàn),對(duì)面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進(jìn)行剝離并分別測(cè)定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過(guò)片量(剝離的面壁數(shù)量)。對(duì)比情況見(jiàn)表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過(guò)片量/片實(shí)施例1130~15015376實(shí)施例2130~15016583實(shí)施例3130~15017279實(shí)施例4130~15015675實(shí)施例5130~15016372實(shí)施例6130~15017681對(duì)照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過(guò)加入硫脲類(lèi)緩蝕劑和聚氧乙烯醚類(lèi)非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對(duì)金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過(guò)片量提高10%以上。以上所述的*是本發(fā)明的一些實(shí)施方式。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。剝離液的大概費(fèi)用大概是多少?
這些溶纖劑可以使用1種或組合使用2種以上。本發(fā)明剝離液中的溶纖劑的含量沒(méi)有特別限定,例如,推薦~,更推薦~,特別推薦~。本發(fā)明剝離液中,為了抑制對(duì)金屬的浸蝕性,推薦還含有硅酸鹽。硅酸鹽沒(méi)有特別限定,例如,可以舉出硅酸鉀、硅酸鈉等。這些之中推薦硅酸鉀。本發(fā)明剝離液中的硅酸鹽的含量沒(méi)有特別限定,例如,推薦~,更推薦~,特別推薦~。需要說(shuō)明的是,本發(fā)明剝離液中,推薦*由上述成分構(gòu)成,但只要不阻礙本發(fā)明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說(shuō)明的本發(fā)明剝離液可以通過(guò)將上述成分溶于水中來(lái)制備。需要說(shuō)明的是,本發(fā)明剝離液的ph若為堿性則沒(méi)有特別限定,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒(méi)有特別必要調(diào)整ph。另外,本發(fā)明剝離液可以通過(guò)將上述成分分別分開(kāi)預(yù)先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來(lái)制備。具體來(lái)說(shuō),可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進(jìn)而在其中使上述其它成分適當(dāng)含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過(guò)使用本發(fā)明剝離液對(duì)施加有抗蝕劑的基材進(jìn)行處理,抗蝕劑被細(xì)小地粉碎。哪家公司的剝離液的有售后?揚(yáng)州什么剝離液報(bào)價(jià)
質(zhì)量好的剝離液的公司聯(lián)系方式。惠州天馬用的蝕刻液剝離液價(jià)格
本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,請(qǐng)參閱圖5,圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110、將多級(jí)腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來(lái)自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過(guò)濾器過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過(guò)濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室;步驟140、若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān);步驟150、取出被阻塞的所述過(guò)濾器。若過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過(guò)濾器的閥門(mén),因此,步驟140還可以包括:若所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)。在上述實(shí)施例中,對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,某個(gè)實(shí)施例中沒(méi)有詳述的部分,可以參見(jiàn)其他實(shí)施例的相關(guān)描述。以上對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本申請(qǐng)的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本申請(qǐng)的技術(shù)方案及其**思想?;葜萏祚R用的蝕刻液剝離液價(jià)格
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司是以提供高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液為主的股份有限公司,公司成立于1999-10-25,旗下博洋化學(xué),已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。博洋化學(xué)以高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液為主業(yè),服務(wù)于精細(xì)化學(xué)品等領(lǐng)域,為全國(guó)客戶提供先進(jìn)高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液。將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案,加速推進(jìn)全國(guó)精細(xì)化學(xué)品產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的發(fā)展。