南京配方剝離液批量定制

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-06-08

    所述抽真空氣體修飾法包括如下步驟:將將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,對(duì)密閉空間抽真空至光刻膠抗粘層氣化,保持1分鐘以上,直接取出襯底。進(jìn)一步的改進(jìn),所述襯底為硅、氧化硅、石英、玻璃、氮化硅、碳化硅、鈮酸鋰、金剛石、藍(lán)寶石或ito制成。進(jìn)一步的改進(jìn),所述步驟(2)對(duì)襯底修飾的試劑包括hmds和十三氟正辛基硅烷;對(duì)襯底修飾的試劑鍍?cè)谝r底表面。進(jìn)一步的改進(jìn),所述所述光刻膠包括pmma,zep,瑞紅膠,az膠,納米壓印膠和光固化膠。進(jìn)一步的改進(jìn),所述光刻膠厚度為1nm-100mm進(jìn)一步的改進(jìn),所述光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓的方法為電子束曝光,離子束曝光,聚焦離子束曝光,重離子曝光,x射線曝光,等離子體刻蝕,紫外光刻,極紫外光刻,激光直寫(xiě)或納米壓印。進(jìn)一步的改進(jìn),所述黏貼層為pdms,紫外固化膠,熱釋放膠,高溫膠帶,普通膠帶,pva,纖維素或ab膠。上述選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法制備的微納結(jié)構(gòu)用于微納制造,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué),生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。本發(fā)明的有益效果在于,解決了現(xiàn)有負(fù)性光刻膠加工效率低,難于去膠,去膠過(guò)程中損傷襯底,對(duì)于跨尺度結(jié)構(gòu)的加工過(guò)程中加工精度和效率的矛盾等問(wèn)題。如何挑選一款適合公司的剝離液?南京配方剝離液批量定制

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    701、油墨放置箱;702、油墨加壓器;703、高壓噴頭;704、防濺射擋板;705、印刷輥;8、膠面剝離結(jié)構(gòu);801、收卷調(diào)速器;802、收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī);803、輥固定架;804、膠水盛放箱;805、點(diǎn)膠頭;806、卷邊輥;807、膠面收卷輥;9、電加熱箱;10、熱風(fēng)噴頭;11、干燥度感應(yīng)器;12、電氣控制箱;13、液晶操作面板。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本**技術(shù)作進(jìn)一步說(shuō)明:如圖1-圖4所示,一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,包括主支撐架1、橫向支架2、伺服變頻電機(jī)3、電機(jī)減速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷結(jié)構(gòu)7、膠面剝離結(jié)構(gòu)8,所述主支撐架1上方設(shè)置有所述橫向支架2,所述橫向支架2上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(jī)3,所述伺服變頻電機(jī)3上方設(shè)置有所述電機(jī)減速箱4,所述電機(jī)減速箱4上方安裝有印刷品傳送帶5,所述印刷品傳送帶5一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱6,所述印刷品放置箱6一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)7,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7上方設(shè)置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安裝有油墨加壓器702,所述油墨加壓器702下方安裝有高壓噴頭703,所述高壓噴頭703一側(cè)安裝有防濺射擋板704,所述防濺射擋板704下方安裝有印刷輥705,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8。銅陵半導(dǎo)體剝離液費(fèi)用是多少華星光電用的哪家的剝離液?

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光刻作為IC制造的關(guān)鍵一環(huán)常常被人重視,但是光刻膠***都是作為**層被去掉的,如何快速、干凈的去除工藝后的光刻膠是一個(gè)經(jīng)常被疏忽的問(wèn)題,但是很重要,直接影響了產(chǎn)品質(zhì)量。如何快速有效的去除光刻膠。筆者**近就碰到一些去膠的問(wèn)題,比如正膠和負(fù)膠去除需要的工藝有差別。去膠工藝還和光刻膠受過(guò)什么樣的工藝處理有關(guān),比如ICPRIE之后的光刻膠、還有濕法腐蝕后的光刻膠。市面上針對(duì)光刻膠去除的特殊配方的去膠液有很多種,但需要根據(jù)自身產(chǎn)品特性加以選擇。在做砷化鎵去除光阻的案例,砷化鎵是一種化合物半導(dǎo)體材料,分子式GaAs。立方晶系閃鋅礦結(jié)構(gòu),即由As和Ga兩種原子各自組成面心立方晶格套構(gòu)而成的復(fù)式晶格,其晶格常數(shù)是5.6419A。室溫下禁帶寬度1.428eV,是直接帶隙半導(dǎo)體,熔點(diǎn)1238℃,質(zhì)量密度5.307g/cm3,電容率13.18。在其中摻入Ⅵ族元素Te、Se、S等或Ⅳ族元素Si,可獲得N型半導(dǎo)體,摻入Ⅱ族元素Be、Zn等可制得P型半導(dǎo)體,摻入Cr或提高純度可制成電阻率高達(dá)107~108Ω·cm的半絕緣材料。

    腔室10及過(guò)濾器30可以采用與現(xiàn)有技術(shù)相同的設(shè)計(jì)。處于剝離制程中的玻璃基板,按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開(kāi)始逐級(jí)由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進(jìn)行剝離制程。剝離液從當(dāng)前腔室101進(jìn)入相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20,在剝離液的水平面超過(guò)預(yù)設(shè)高度后流入過(guò)濾器30,再經(jīng)過(guò)過(guò)濾器30的過(guò)濾將過(guò)濾后的剝離液傳送至下一級(jí)腔室102內(nèi)。其中,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,如圖2所示,圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。閥門(mén)開(kāi)關(guān)60設(shè)置在***管道40及第二管道50上。在過(guò)濾器30被阻塞時(shí),關(guān)閉位于過(guò)濾器30兩側(cè)的***管道40及第二管道50上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)60,可以保證當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20內(nèi)剝離液不會(huì)流出,同時(shí)下一級(jí)腔室102內(nèi)的剝離液也不會(huì)流出。在一些實(shí)施例中,請(qǐng)參閱圖3,圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。過(guò)濾器30包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器301,所述***管道40包括多個(gè)***子管道401,每一所述***子管道401與一子過(guò)濾器301連通,且所述多個(gè)***子管道401與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連通。在一些實(shí)施例中,第二管道50包括公共子管道501及多個(gè)第二子管道502,每一所述第二子管道502與一子過(guò)濾器301連通。哪家的剝離液價(jià)格比較低?

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    所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801),所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802),所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802)一側(cè)安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側(cè)安裝有膠水盛放箱(804),所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點(diǎn)膠頭(805),所述點(diǎn)膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側(cè)安裝有膠面收卷輥(807),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)一側(cè)安裝有電加熱箱(9),所述電加熱箱(9)下方安裝有熱風(fēng)噴頭(10),所述熱風(fēng)噴頭(10)下方安裝有干燥度感應(yīng)器(11),所述干燥度感應(yīng)器(11)下方安裝有電氣控制箱(12),所述電氣控制箱(12)上方安裝有液晶操作面板(13)。...【技術(shù)特征摘要】1.一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1)、橫向支架。剝離液蝕刻后的樣貌形態(tài)。無(wú)錫什么剝離液主要作用

剝離液適用于哪些行業(yè)。南京配方剝離液批量定制

    所述硫脲類(lèi)緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂?;螂逯械囊环N。具體的,所述聚氧乙烯醚類(lèi)非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術(shù)方案,本發(fā)明技術(shù)方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對(duì)金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長(zhǎng)。具體實(shí)施方式本發(fā)明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類(lèi)緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類(lèi)非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。聚氧乙烯醚類(lèi)非離子型表面活性劑因?yàn)榉肿又械拿焰I不易被酸、堿破壞,所以穩(wěn)定性較高,水溶性較好,耐電解質(zhì),易于生物降解,泡沫小。硫脲類(lèi)緩蝕劑呈現(xiàn)弱堿性,所以在酸性介質(zhì)中能夠起到緩蝕的效果,另外與聚氧乙烯醚類(lèi)非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。南京配方剝離液批量定制

蘇州博洋化學(xué)股份有限公司是一家從事高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及售后的生產(chǎn)型企業(yè)。公司坐落在高新區(qū)華橋路155號(hào),成立于1999-10-25。公司通過(guò)創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念,以客戶(hù)滿意為重要標(biāo)準(zhǔn)。在孜孜不倦的奮斗下,公司產(chǎn)品業(yè)務(wù)越來(lái)越廣。目前主要經(jīng)營(yíng)有高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等產(chǎn)品,并多次以精細(xì)化學(xué)品行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、客戶(hù)需求定制多款多元化的產(chǎn)品。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司每年將部分收入投入到高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產(chǎn)品開(kāi)發(fā)工作中,也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動(dòng)作用。公司在長(zhǎng)期的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)中形成了一套完善的科技激勵(lì)政策,以激勵(lì)在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品改進(jìn)等。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司注重以人為本、團(tuán)隊(duì)合作的企業(yè)文化,通過(guò)保證高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產(chǎn)品質(zhì)量合格,以誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、用戶(hù)至上、價(jià)格合理來(lái)服務(wù)客戶(hù)。建立一切以客戶(hù)需求為前提的工作目標(biāo),真誠(chéng)歡迎新老客戶(hù)前來(lái)洽談業(yè)務(wù)。