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來源: 發(fā)布時間:2023-12-29

本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問題,而避免其使用。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,本發(fā)明的課題在于,提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結果發(fā)現(xiàn),含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎,從而完成本發(fā)明。即,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。剝離液的技術指標哪家比較好?浙江半導體剝離液推薦廠家

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    本發(fā)明下述示例性實施例可以多種不同的形式來實施,并且不應當被解釋為只限于這里所闡述的具體實施例。應當理解的是,提供這些實施例是為了使得本發(fā)明的公開徹底且完整,并且將這些示例性具體實施例的技術方案充分傳達給本領域技術人員。如圖1所示,本發(fā)明提供的光刻膠剝離去除方法主要實施例,用于半導體制造工藝中,可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現(xiàn)有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導體襯底上淀積介質層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執(zhí)行離子注入:s4,采用氮氫混合氣體執(zhí)行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離;s5,對襯底表面進行清洗。本發(fā)明刻膠剝離去除方法主要實施例采用能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應生成含氨揮發(fā)性化合物氣體,與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應速率相等的等離子體氮氫混合氣體能更高效的剝離去除光刻膠,有效降低光刻膠殘留。進而避免由于光刻膠殘留造成對后續(xù)工藝的影響,提高產品良率。參考圖11和圖12所示,在生產線上采用本發(fā)明的光刻膠剝離去除方法后,監(jiān)控晶圓產品缺陷由585顆降低到32顆,證明本發(fā)明光刻膠剝離去除方法的的改善的產品缺陷,促進了產品良率的提升。滁州京東方用的蝕刻液剝離液溶劑剝離液的的性價比、質量哪家比較好?

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    高世代面板)表面上,或透入其表面,而把固體物料潤濕,剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。因此,本申請中的高世代面板銅制程光刻膠剝離液由酰胺、醇醚、環(huán)胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑組成。其中,酰胺可以為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種,酰胺是用于溶解光刻膠;n-甲基甲酰胺下面簡稱″nmf″醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種,醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的;二乙二醇丁醚下面簡稱″bdg″。環(huán)胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力;鏈胺:分子量的大小決定瞬間溶解力,分子量過大瞬間溶解力小,光刻膠未被完全溶解;分子量過小,對金屬的腐蝕性增強,影響產品質量。分子量一般在50g/mol-200g/mol,鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種;環(huán)胺:溶解光刻膠中環(huán)狀結構的樹脂,包括氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種;上述鏈胺與環(huán)胺的比例在4∶1-1∶4之間。緩蝕劑,用于降低對金屬的腐蝕速度,緩蝕劑為三唑類物質,具體為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種。潤濕劑。

 如遇水,圖案則隨著背膠的脫落而脫落。這種印刷方法是通過滾筒式膠質印模把沾在膠面上的油墨轉印到紙面上。由于膠面是平的,沒有凹下的花紋,所以印出的紙面上的圖案和花紋也是平的,沒有立體感,防偽性較差。膠版印刷所需的油墨較少,模具的制造成本也比凹版低。目前我國汽車尾氣直接排入空氣中,并未進行回收處理,對空氣造成了巨大污染,同時會對人體造成傷害。技術實現(xiàn)思路本**技術的目的就在于為了解決上述問題而提供一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置。質量好的做剝離液的公司。

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    所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種。技術方案中,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種。技術方案中,所述的緩蝕劑為三唑類物質。的技術方案中,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種。技術方案中,所述的潤濕劑含有羥基。技術方案中,所述的潤濕劑為聚乙二醇、甘油中的任意一種。經由上述的技術方案可知,與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中加入環(huán)胺與鏈胺,能夠滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力,能夠快速、有效地溶解光刻膠,而配方中加入潤濕劑,能夠有效地減少接觸角,增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時兩者的接觸角對比圖。圖2為配方一和配方二的剝離液應用是光刻膠的殘留量對比圖。具體實施方式現(xiàn)有技術中的剝離液其水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,本申請經過大量的試驗,創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),在剝離液中加入潤濕劑,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質,通過降低其表面張力或界面張力,使水能展開在固體物料。哪家公司的剝離液的是口碑推薦?浙江BOE蝕刻液剝離液什么價格

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    該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來自于當前級腔室經歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關;步驟150、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側重,某個實施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實施例的相關描述。以上對本申請實施例進行了詳細介紹,本文中應用了具體個例對本申請的原理及實施方式進行了闡述,以上實施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術方案及其思想;本領域的普通技術人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改,或者對其中部分技術特征進行等同替換。浙江半導體剝離液推薦廠家