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    經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進(jìn)入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部；所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動(dòng)組件，通過所述制動(dòng)組件實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動(dòng)，以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動(dòng)。在本實(shí)施例中，圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個(gè)所述玻璃減薄設(shè)備，所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2，所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間，所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu)，從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂，通過所述裝卸臂可實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4的上下料，以及單片玻璃的拿取檢測(cè)。實(shí)施例二如圖2所示，圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測(cè)量儀32、噴淋組件33和控制器；所述噴淋組件33在所述腔室31中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測(cè)量儀32實(shí)時(shí)測(cè)量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。高效、環(huán)保的減薄用清洗劑，為您的生產(chǎn)帶來綠色變化。杭州哪里減薄用清洗劑哪里買

    潔普士?zepoos致力于開發(fā)高效、環(huán)保的清洗劑產(chǎn)品，是幕阜科技公司旗下的清洗劑品牌。是全球的工業(yè)清洗劑產(chǎn)品生產(chǎn)商和服務(wù)商，公司通過zepoos?（潔普士）品牌提供了230多種清洗劑產(chǎn)品和清洗工藝解決方案。從推出工業(yè)清洗劑產(chǎn)品銷售以來，“潔普士”產(chǎn)品在全世界所開展的清洗劑產(chǎn)品的研究和生產(chǎn)業(yè)務(wù)中取得了巨大的成功。為了更進(jìn)一步服務(wù)好廣大的客戶，“潔普士清洗劑”在中國江蘇、浙江和上海建立了生產(chǎn)基地和銷售網(wǎng)絡(luò)，以較低的成本向客戶提供的產(chǎn)品和高效率的服務(wù)?！皾嵠帐俊鼻逑串a(chǎn)品目前有：環(huán)保電子清洗劑、松香清洗劑、噴淋超聲波清洗劑，松香錫膏助焊劑清潔劑、強(qiáng)油污清洗劑、錫膏清洗劑、助焊劑清洗劑、回流焊清洗劑、波峰焊清洗劑、鋼網(wǎng)清洗劑、絲網(wǎng)印刷清洗劑、電子清洗劑、表面活性清洗劑、爐膛清洗劑、硅片清洗劑、夾具清洗劑、貼片元器件清洗劑、LED清洗劑、精密儀器清洗劑、水基清洗劑、半水基清洗劑、溶劑清洗劑、電子儀器清洗劑、電氣設(shè)備清洗劑、IC清洗劑、多功能水基清洗、電容電阻清洗劑、二極管清洗劑、大功率封裝器件清洗劑、植球BGA清洗劑、誤印鋼網(wǎng)/絲網(wǎng)清洗劑、半導(dǎo)體清洗劑機(jī)械零件清洗劑、電子元器件清洗劑、環(huán)保溶劑清洗劑、環(huán)保水基清洗。臺(tái)州清洗效果好的減薄用清洗劑聯(lián)系方式哪家減薄用清洗劑的的性價(jià)比好？

    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等，托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。

    將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光；s103：通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。可選地，本發(fā)明實(shí)施例中，s102和s103可以交替進(jìn)行，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司清洗劑；

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