寧波清洗效果好的減薄用清洗劑配方技術(shù)

    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤(pán)，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作，以對(duì)所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過(guò)所述研磨層對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，還包括：熱板，設(shè)置于所述托盤(pán)底部，用于對(duì)所述托盤(pán)進(jìn)行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤(pán)鍵合固定。可選地，所述待加工部件與所述托盤(pán)通過(guò)光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤(pán)上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過(guò)噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；通過(guò)磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。高效去除涂層，減薄用清洗劑讓您的生產(chǎn)更順暢。寧波清洗效果好的減薄用清洗劑配方技術(shù)

    用于實(shí)現(xiàn)將所述玻璃加工治具從所述轉(zhuǎn)換區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述蝕刻區(qū)的減薄前移動(dòng)，以及從所述蝕刻區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述轉(zhuǎn)換區(qū)的減薄后移動(dòng)；所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的，所述蝕刻區(qū)包括腔室、主厚度測(cè)量?jī)x、噴淋組件和控制器；所述主厚度測(cè)量?jī)x、所述噴淋組件設(shè)置于所述腔室上，所述噴淋組件在所述腔室中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測(cè)量?jī)x實(shí)時(shí)測(cè)量在所述腔室內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度；所述控制器與所述噴淋組件、所述主厚度測(cè)量?jī)x、所述傳輸組件連接。較佳的，所述噴淋組件包括設(shè)置于所述腔室頂部的噴淋頭、設(shè)置于所述腔室底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過(guò)所述噴淋頭對(duì)所述玻璃加工治具上的玻璃噴淋?chē)娏芤簭亩鴮?shí)現(xiàn)玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室內(nèi)排出。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x包括用于發(fā)射激光束的發(fā)射器、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且計(jì)算玻璃厚度的分析器。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x還包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃表面，將被檢測(cè)部位暴露于所述發(fā)射器對(duì)應(yīng)位置。廣東顯示面板用減薄用清洗劑減薄清洗劑，良好品質(zhì)，值得信賴(lài)，讓您的加工更輕松。

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí)，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過(guò)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始厚度作對(duì)比，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的，當(dāng)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x檢測(cè)厚度與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始檢測(cè)厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈；在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32非暫時(shí)失靈，所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測(cè)量?jī)x32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。減薄用清洗劑的人概費(fèi)用是多少？

    即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423，從而形成對(duì)應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部?jī)?nèi)放置有一排玻璃，可實(shí)現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對(duì)應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實(shí)施方式，所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424可設(shè)置兩個(gè)所述固定卡塊427，即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對(duì)應(yīng)兩所述豎直平板421，使在同一所述放置部?jī)?nèi)分割處兩個(gè)放置空間，從而在各所述放置部?jī)?nèi)可放置兩排玻璃，便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部?jī)?nèi)。較佳的，兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個(gè)定位槽428，所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429，當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時(shí)，所述定位槽428和所述定位孔429位置對(duì)應(yīng)；通過(guò)將螺釘穿過(guò)所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中，保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。去除多余涂層，選擇減薄用清洗劑，效果好?；葜菔忻嫔夏募覝p薄用清洗劑按需定制

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    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤(pán)和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等，托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中，托盤(pán)10，可選為石英托盤(pán)，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。寧波清洗效果好的減薄用清洗劑配方技術(shù)