池州顯示面板用減薄用清洗劑溶劑

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-03-18

    所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時(shí)實(shí)時(shí)測量玻璃的厚度,并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實(shí)時(shí)確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達(dá)到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度,則所述控制器停止對玻璃進(jìn)行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動(dòng)至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實(shí)施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實(shí)現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動(dòng),進(jìn)而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸,提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖;具體的,所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42,所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上;所述底座41上設(shè)置有底支撐件43,所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸,在玻璃底部提供支撐效果;所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44,所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。選擇減薄用清洗劑,為您的加工過程保駕護(hù)航。池州顯示面板用減薄用清洗劑溶劑

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    較佳的,所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū)、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū),所述第二沖洗區(qū)設(shè)置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間,所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉(zhuǎn)換區(qū)之間,所述第三沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的,所述沖洗區(qū)設(shè)置有輔助厚度測量儀。較佳的,所述第三沖洗區(qū)設(shè)置有第二輔助厚度測量儀。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置為可升降的折疊式結(jié)構(gòu)。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置有裝卸臂。與現(xiàn)有技術(shù)比較本發(fā)明的有益效果在于:1,本發(fā)明中所述玻璃減薄生產(chǎn)線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進(jìn)行減薄處理,可實(shí)現(xiàn)單次多片玻璃減薄,同時(shí)避免浸泡式減薄法中反應(yīng)產(chǎn)物粘附在玻璃上造成不良品的問題;2,本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時(shí)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)使側(cè)支撐件與玻璃之間接觸點(diǎn)產(chǎn)生變化,從而避免所述側(cè)支撐件與玻璃之間的接觸點(diǎn)因所述側(cè)支撐件的長期接觸造成接觸點(diǎn)無法被噴淋液噴淋而產(chǎn)生的不良次品問題;3,本發(fā)明通過所述側(cè)支撐件的固定結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件的位置調(diào)節(jié),從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時(shí)設(shè)置于玻璃加工治具上同時(shí)進(jìn)行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。揚(yáng)州顯示面板用減薄用清洗劑替代品質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司。

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    即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423,從而形成對應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421,在各所述放置部內(nèi)放置有一排玻璃,可實(shí)現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實(shí)施方式,所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣;兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424可設(shè)置兩個(gè)所述固定卡塊427,即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423,兩所述固定板423分別對應(yīng)兩所述豎直平板421,使在同一所述放置部內(nèi)分割處兩個(gè)放置空間,從而在各所述放置部內(nèi)可放置兩排玻璃,便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部內(nèi)。較佳的,兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個(gè)定位槽428,所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429,當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時(shí),所述定位槽428和所述定位孔429位置對應(yīng);通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中,保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。

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    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液,從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測量數(shù)據(jù)。一般的,所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測量儀,所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設(shè)置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng)。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發(fā)出警報(bào)來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異??赡苁菚簳r(shí)的。減薄清洗劑,讓您的加工過程更輕松,提高生產(chǎn)效率。浙江好用的減薄用清洗劑銷售價(jià)格

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    將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合,鍵合時(shí)間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進(jìn)行拋光;s103:通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,來對待加工表面進(jìn)行減薄??蛇x地,本發(fā)明實(shí)施例中,s102和s103可以交替進(jìn)行,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn),并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中,通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作,實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個(gè)過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。池州顯示面板用減薄用清洗劑溶劑