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    所述控制器用于控制減薄處理過程，具體的，在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區(qū)2移動至所述腔室31內合適位置時打開所述噴淋組件33進行減薄處理操作，并在由所述主厚度測量儀32測得的玻璃厚度達到目標厚度時關閉所述噴淋組件33停止對玻璃進行的減薄處理，以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區(qū)2移動。所述控制器在噴淋減薄過程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內的往復移動。一般的，所述噴淋組件33包括設置于所述腔室31頂部的噴淋頭、設置于所述腔室31底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋噴淋液從而實現玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室31內排出。在經歷過減薄處理的玻璃從所述轉換區(qū)1被卸載之后，將容納玻璃的下一個玻璃加工治具4通過所述轉換區(qū)1加載到所述腔室31中并且如上所述經歷減薄處理。通過以上操作，玻璃順序地經歷減薄處理。值得指出的是，通過所述主厚度測量儀32測量在所述蝕刻區(qū)3中經歷過減薄處理的所述玻璃厚度達到指定尺寸后再通過所述傳輸組件將玻璃卸載到所述腔室31外部。具體地。哪家減薄用清洗劑的質量比較好。浙江哪里減薄用清洗劑商家

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    通過旋緊螺釘使螺釘的端頭部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸，從而實現對所述連接部433的固定，避免所述連接部433在振動時發(fā)生脫離等情況。同時螺釘的設置，可實現所述底支撐件43結構的快速裝卸，便于維修更換。值得指出的是，為達到防止所述連接部433脫離的效果，所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設置為螺釘，通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設置橫截面合適的部件，使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接，即可實現螺釘的效果。所述接觸部434設置有弧形槽，玻璃的下邊緣設置于所述弧形槽內，從而實現所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進行減薄或其他加工過程中，玻璃通過所述玻璃加工治具4進行移動或放置時，均會產生振動；同時在進行蝕刻沖刷時，在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定，易使玻璃產生彎曲，通過所述底支撐件43的結構設置，可實現設置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐，有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力，避免振動或沖擊對玻璃帶來的損傷；同時可有效降低所述玻璃加工治具4往復移動帶來的振動，使玻璃底部在所述連接部433的限制下進行小幅度的移動，在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動。質量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰？

    圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉子12，當然，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等，托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對待加工表面進行拋光。選擇高效減薄用清洗劑，為您的生產線注入新活力。安徽哪家公司減薄用清洗劑溶劑

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    來對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉子運行一段時間后，更換所述磁轉子?？蛇x地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上?？蛇x地，對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對所述待加工部件進行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現有技術相比，本發(fā)明所提供的技術方案具有以下優(yōu)點：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光，采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對所述待加工表面進行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。浙江哪里減薄用清洗劑商家