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    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液，從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測(cè)量數(shù)據(jù)。一般的，所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測(cè)量?jī)x，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測(cè)量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x將測(cè)得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的設(shè)置可降低所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測(cè)量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng)。所述控制器基于所述輔助厚度測(cè)量?jī)x測(cè)得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否正確工作。一般的，從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍，則所述控制器確定所述主厚度測(cè)量?jī)x32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下，所述控制器發(fā)出警報(bào)來通知管理者，所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常可能是暫時(shí)的。減薄用清洗劑的適用人群有哪些？寧波好用的減薄用清洗劑銷售價(jià)格

    降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實(shí)施例中采用光刻膠對(duì)托盤和待加工部件進(jìn)行了固定，因此，對(duì)待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對(duì)待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對(duì)光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將待加工部件與托盤分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對(duì)待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮?dú)獯蹈伞Ｖ?，將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動(dòng)分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例提供的方法，還包括：在磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后，可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)于實(shí)施例公開的裝置而言，由于其與實(shí)施例公開的方法相對(duì)應(yīng)，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明。池州國產(chǎn)減薄用清洗劑哪家公司的減薄用清洗劑的品質(zhì)比較好？

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定。基于此，如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部，用于對(duì)托盤10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說明的是。

    實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時(shí)，控制玻璃的擺動(dòng)幅度，提高玻璃在減薄過程中的安全性。實(shí)施例六所述主厚度測(cè)量?jī)x32與所述蝕刻區(qū)3的內(nèi)壁相鄰，并且具有滑動(dòng)結(jié)構(gòu)以移動(dòng)到豎直容納在所述玻璃加工治具4內(nèi)的玻璃之中的靠外玻璃附近，從而便于對(duì)玻璃厚度進(jìn)行檢測(cè)；具體的，在所述控制器的控制下，所述主厚度測(cè)量?jī)x32通過向玻璃發(fā)射激光束來實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃厚度并且在玻璃正經(jīng)歷滑動(dòng)處理的同時(shí)將關(guān)于測(cè)得厚度的信息發(fā)送到所述控制器；所述控制器實(shí)時(shí)將預(yù)設(shè)的目標(biāo)厚度與從所述主厚度測(cè)量?jī)x32接收的測(cè)得玻璃厚度進(jìn)行比較。如果確定從所述主厚度測(cè)量?jī)x32接收的測(cè)得玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止減薄處理等操作，并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x32可包括：發(fā)射器，其用于發(fā)射激光束；接收器，其用于接收被玻璃反射的光束；以及分析器，其用于分析接收器中接收的光束并且計(jì)算玻璃厚度。所述主厚度測(cè)量?jī)x32還可包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發(fā)射器發(fā)射的激光束的那部分。在通過發(fā)射器發(fā)射激光束之前，所述主厚度測(cè)量?jī)x32控制所述空氣噴射器。如何區(qū)分減薄用清洗劑的的質(zhì)量好壞。

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