顯示面板用減薄用清洗劑批量定制

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-05

    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,當(dāng)然,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰?顯示面板用減薄用清洗劑批量定制

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    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖;圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示:1-轉(zhuǎn)換區(qū);2-沖洗區(qū);3-蝕刻區(qū);4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度測(cè)量?jī)x;33-噴淋組件;41-底座;42-支撐架;43-底支撐件;44-側(cè)支撐件;421-豎直平板;422-側(cè)板;423-固定板;424-水平槽;425-豎直槽;426-固定槽;427-固定卡塊;428-定位槽;429-定位孔;431-支撐條;432-第二支撐條;433-連接部;434-接觸部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位塊;439-第二限位塊。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說明。實(shí)施例一如圖1所示,圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖;本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間,豎直容納在玻璃加工治具4中的多個(gè)玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中,在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。南京哪里減薄用清洗劑商家減薄清洗劑,采用科技,為您帶來好的清潔效果。

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    產(chǎn)生不良次品;同時(shí)由于所述側(cè)支撐件44的移動(dòng),可帶動(dòng)玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實(shí)施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實(shí)施例四所述支撐架42包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上,所述架體包括平行對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對(duì)應(yīng)兩側(cè)板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設(shè)置在所述盛放部?jī)?nèi);所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44,且所述側(cè)支撐件44對(duì)應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的,所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔,所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置;所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽,對(duì)應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對(duì)應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上,并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動(dòng),從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。減薄用清洗劑的的概費(fèi)用是多少?

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    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光;磁轉(zhuǎn)子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄??蛇x地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作,以對(duì)所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄??蛇x地,所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層,以通過所述研磨層對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨??蛇x地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層??蛇x地,還包括:熱板,設(shè)置于所述托盤底部,用于對(duì)所述托盤進(jìn)行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光;通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。顯示面板用減薄用清洗劑批量定制