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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí)，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的，當(dāng)所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí)，可判斷所述主厚度測量儀32非暫時(shí)失靈，所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。減薄清洗劑，專業(yè)解決涂層過厚難題，提高產(chǎn)品良率。南京性價(jià)比高的減薄用清洗劑推薦廠家

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部，用于對托盤10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說明的是?；葜菔裁词菧p薄用清洗劑替代品如何正確使用減薄用清洗劑的。

    所述控制器用于控制減薄處理過程，具體的，在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區(qū)2移動(dòng)至所述腔室31內(nèi)合適位置時(shí)打開所述噴淋組件33進(jìn)行減薄處理操作，并在由所述主厚度測量儀32測得的玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)關(guān)閉所述噴淋組件33停止對玻璃進(jìn)行的減薄處理，以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。所述控制器在噴淋減薄過程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)移動(dòng)。一般的，所述噴淋組件33包括設(shè)置于所述腔室31頂部的噴淋頭、設(shè)置于所述腔室31底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋噴淋液從而實(shí)現(xiàn)玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室31內(nèi)排出。在經(jīng)歷過減薄處理的玻璃從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載之后，將容納玻璃的下一個(gè)玻璃加工治具4通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1加載到所述腔室31中并且如上所述經(jīng)歷減薄處理。通過以上操作，玻璃順序地經(jīng)歷減薄處理。值得指出的是，通過所述主厚度測量儀32測量在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷過減薄處理的所述玻璃厚度達(dá)到指定尺寸后再通過所述傳輸組件將玻璃卸載到所述腔室31外部。具體地。

    即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423，從而形成對應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內(nèi)放置有一排玻璃，可實(shí)現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實(shí)施方式，所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424可設(shè)置兩個(gè)所述固定卡塊427，即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對應(yīng)兩所述豎直平板421，使在同一所述放置部內(nèi)分割處兩個(gè)放置空間，從而在各所述放置部內(nèi)可放置兩排玻璃，便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部內(nèi)。較佳的，兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個(gè)定位槽428，所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429，當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時(shí)，所述定位槽428和所述定位孔429位置對應(yīng)；通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中，保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。選擇高效減薄用清洗劑，為您的生產(chǎn)線注入新活力。

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    從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果，通過所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實(shí)現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果。較佳的，所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì)。較佳的，所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu)，即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳，所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間，兩所述叉腳在一端連接，兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大，兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度，限制玻璃兩對應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離，即當(dāng)玻璃通過兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進(jìn)行支撐限制時(shí)，玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙，從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進(jìn)行一定的位置移動(dòng)，從而避免所述側(cè)支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的過程中，所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)發(fā)生變化，從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)因所述側(cè)支撐件44的長期接觸造成接觸點(diǎn)無法被噴淋液噴淋，若接觸點(diǎn)無法被噴淋，易造成玻璃的減薄缺陷。南京性價(jià)比高的減薄用清洗劑推薦廠家