避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲:密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風:良好的通風措施,保持良好通風人員保護設備:橡膠手套、防護目鏡,避免接觸皮膚、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽壓;9.物理和化學性能物理測試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點:-24~-23℃沸點:165~204℃閃點:110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機溶劑PH值:10.穩(wěn)定性與活性穩(wěn)定性:穩(wěn)定危險反應:有機和無機酸、強氧化劑、堿金屬、強酸混溶性:強氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應避免條件:熱、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。剝離液的使用效果有哪些;廣州銅蝕刻液剝離液主要作用
本發(fā)明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。背景技術::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應用也越來越。在半導體元器件制造過程中,經過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進行下道工序。因此,光刻膠的剝離質量也有直接影響著產品的質量。但是傳統(tǒng)光刻膠剝離液雖然能剝離絕大部分光阻,但對于高世代面板(高世代面板是代指大尺寸的液晶面板),傳統(tǒng)剝離液親水性不夠,水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留。技術實現要素:本發(fā)明的目的是提供一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。為了實現上述目的,本發(fā)明采用如下技術方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質量組分:酰胺:50-60%;醇醚:35-45%;環(huán)胺與鏈胺:3-7%;緩蝕劑:%%;潤濕劑:%%。的技術方案中,所述的酰胺為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種。的技術方案中,所述的醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種。的技術方案中。廣州銅蝕刻液剝離液主要作用剝離液的正確使用方式;
常在印刷電路板,液晶顯示面板,半導體集成電路等工藝制造過程中,需要通過多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,形成微電路之后,進一步用剝離液將涂覆在微電路保護區(qū)域上作為掩膜的光刻膠除去。比如光電TFT-LCD生產工藝主要包含光阻涂布、顯影、去光阻、相關清洗作業(yè)四大階段,其中在去光阻階段會產生部分剝離液。印制電路板生產工藝相當復雜。不僅設備和制造工藝的科技含量高,工藝流程長,用水量大,而且所用的化學藥品(包括各種添加劑)種類多、用量大。因此,在用減成法生產印刷線路板的過程中,產污環(huán)節(jié)多,種類繁雜,物料損耗大??煞譃楦煞庸?設計和布線、模版制作、鉆孔、貼膜、曝光和外形加工等)和濕法加工(內層板黑膜氧化、去孔壁樹脂膩污、沉銅、電鍍、顯影、蝕刻、脫膜、絲印、熱風整平等)過程。其中在脫模(剝膜)工序為了脫除廢舊電路板表面殘留焊錫,需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩(wěn)定劑,苯并三氮唑為銅的緩蝕劑進行操作,整個工序中會產生大量的剝離液,有機溶劑成分較大。
所述功能切換口外部并聯有高純水輸入管線和沉淀劑輸入管線,所述二級過濾罐的底部設有廢液出口,所述一級過濾罐和二級過濾罐內部均懸設有攔截固體成分的過濾筒。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述一級過濾罐和二級過濾罐的結構相同,均由外殼、懸設于外殼內的過濾筒、扣裝于過濾筒頂部的壓蓋組成,所述壓蓋中心設有對應進料管路的通孔,所述過濾筒由均勻布設多孔的支撐筒體、設于支撐筒體內表面的金屬濾網、設于金屬濾網表面的纖維濾布組成,所述支撐筒體的上沿伸出外殼頂部并利用水平翻邊支撐于外殼上表面,所述金屬濾網的上沿設有與支撐筒體的水平翻邊扣合的定位翻邊,所述支撐筒體的底面為向筒體內側凹陷的錐面。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述攪拌釜設有ph計,用于檢測溶液ph值。本實用新型的有益效果是:使用時,先將高純水與光刻膠廢剝離液在攪拌釜內攪拌均勻,形成固液混合物,打開一級過濾罐進料管路上的電磁閥,固液混合物進入一級過濾罐的過濾筒中,先由一級過濾罐的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵送往攪拌釜的循環(huán)料口,往復設定次數后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關閉一級過濾罐進料管路上的電磁閥。哪家剝離液的的性價比好。
隨著電子元器件制作要求的提高,相關行業(yè)應用對濕電子化學品純度的要求也不斷提高。為了適應電子信息產業(yè)微處理工藝技術水平不斷提高的趨勢,并規(guī)范世界超凈高純試劑的標準,國際半導體設備與材料組織(SEMI)將濕電子化學品按金屬雜質、控制粒徑、顆粒個數和應用范圍等指標制定國際等級分類標準。濕電子化學品在各應用領域的產品標準有所不同,光伏太陽能電池領域一般只需要G1級水平;平板顯示和LED領域對濕電子化學品的等級要求為G2、G3水平;半導體領域中,集成電路用濕電子化學品的純度要求較高,基本集中在G3、G4水平,分立器件對濕電子化學品純度的要求低于集成電路,基本集中在G2級水平。一般認為,產生集成電路斷絲、短路等物理性故障的雜質分子大小為**小線寬的1/10。因此隨著集成電路電線寬的尺寸減少,對工藝中所需的濕電子化學品純度的要求也不斷提高。從技術趨勢上看,滿足納米級集成電路加工需求是超凈高純試劑今后發(fā)展方向之一。 蘇州那里可以買到效果好的剝離液;無錫哪家剝離液訂做價格
蘇州性價比高的剝離液。廣州銅蝕刻液剝離液主要作用
本發(fā)明提供的光刻膠剝離去除方法第二實施例,用于半導體制造工藝中,可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導體襯底上淀積一層二氧化硅薄膜作為介質層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執(zhí)行離子注入,離子注入劑量范圍為1×1013cm-2~1×1016cm-2。s4,采用氮氫混合氣體執(zhí)行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離,氫氮混合比例范圍為4:96~30:70。s5,對襯底表面進行清洗,清洗液采用氧化硫磺混合物溶液和過氧化氨混合物溶液。本發(fā)明提供的光刻膠剝離去除方法第三實施例,用于半導體制造工藝中,可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導體襯底上淀積一層二氧化硅薄膜作為介質層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執(zhí)行離子注入,離子注入劑量范圍為1×1013cm-2~1×1016cm-2。s4,采用氮氫混合氣體執(zhí)行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離,氫氮混合比例范圍為4:96~30:70。s5,對硅片執(zhí)行單片排序清洗,清洗液采用h2so4:h2o2配比范圍為6:1~4:1且溫度范圍為110℃~140℃的過氧化硫磺混合物溶液。廣州銅蝕刻液剝離液主要作用