臺積電隔振臺研發(fā)可以用嗎

LFSLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上，并與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動隔離。

LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關要求。

系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。 該表在支持靈敏實驗（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。臺積電隔振臺研發(fā)可以用嗎

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力，所有過載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過載解除（待機模式）之前暫時不再隔離。卸下過載后，隔離燈應再次亮起，系統(tǒng)開始隔離。一些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴重過載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。聯(lián)電隔振臺自動化測量Table Stable通過在發(fā)展主動隔振系統(tǒng)的同時補充了被動系統(tǒng)。

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用在前饋回路中，以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水平隔離（可傳輸性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進行測量，增益設置為128（V）和150（H）。輸入電壓：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦頻率范圍：0.2-20Hz尺寸傳感器：255x245x107mm（長x寬x高）電源尺寸：265x155x73mm（長x寬x高）重量傳感器：5.9kg供電重量：1.6kg應用：室內(nèi)防護等級：IP20溫度范圍：5°C-40°C相對濕度：10–90%（5–30°C）

該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振，這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設計即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘。功耗小于2.5W。該設備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設計以實現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達到蕞終的性能。事實證明，該表在支持靈敏實驗（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。振動分析系統(tǒng)VA-2C是帶有遠程測量頭的系統(tǒng)，可輕松測量三個正交方向上的加速度，速度或位移。

1、使用2mm內(nèi)六角扳手（包括在內(nèi)）拆下模塊端板。2、根據(jù)掃描電鏡的重量調(diào)整模塊。在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙，允許每側大約有2mm的行程。B、使用M6活動扳手（包括）轉動位于支撐彈簧頂部的調(diào)整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙（在中間止動螺母和橫撐之間）。向左轉動扳手可升高模塊并減小上部間隙。C、計算每個螺母的圈數(shù)；盡可能均勻地調(diào)整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。D、不要轉動螺母太遠，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下，外露螺紋不得超過10mm3.裝回模塊上的端板LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。中芯國際隔振臺摩擦學應用

LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。臺積電隔振臺研發(fā)可以用嗎

技術指標：頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離：動態(tài)（超過1kHz）透射率：參見附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性：大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負載：140公斤尺寸：500x600x84毫米重量：28.5kg電的安全等級：1個能量消耗：蕞大10W負載調(diào)整時20W輸入電壓：115-230VAC+/-10％50-60Hz超載：顯示屏指示負載過重或嚴重失衡監(jiān)控信號：示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的前面板顯示菜單：顯示儀器狀態(tài)，包括：-高度調(diào)節(jié)-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線桌上尺寸：500x600毫米。臺積電隔振臺研發(fā)可以用嗎

岱美儀器技術服務（上海）有限公司辦公設施齊全，辦公環(huán)境優(yōu)越，為員工打造良好的辦公環(huán)境。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能，致力于發(fā)展EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB的品牌。我公司擁有強大的技術實力，多年來一直專注于磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務 的發(fā)展和創(chuàng)新，打造高指標產(chǎn)品和服務。自公司成立以來，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽求發(fā)展”的經(jīng)營理念，始終堅持以客戶的需求和滿意為重點，為客戶提供良好的半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀，從而使公司不斷發(fā)展壯大。