晶圓片隔振臺質(zhì)量怎么樣

來源: 發(fā)布時間:2022-07-02

    傳感器位置傳感器可以移動到任何期望的位置。它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。運作方式設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。綠色LED將點亮。紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動?,F(xiàn)在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色LED不應點亮了。如果它們點亮,則表示系統(tǒng)過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落! 安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。晶圓片隔振臺質(zhì)量怎么樣

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LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關(guān)輸出,這些AVI元件以任意4個矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍色LED直立。將弟一個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關(guān)。傳感器的位置:傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬,以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導致傳感器輸出飽和,隔離將失效。浙江實驗室隔振臺在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領(lǐng)頭供應商 ,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。

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技術(shù)指標:頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離:動態(tài)(超過1kHz)透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負載:140公斤尺寸:500x600x84毫米重量:28.5kg電的安全等級:1個能量消耗:蕞大10W負載調(diào)整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz超載:顯示屏指示負載過重或嚴重失衡監(jiān)控信號:示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的前面板顯示菜單:顯示儀器狀態(tài),包括:-高度調(diào)節(jié)-隔離開/關(guān)-過載-運輸鎖定-技術(shù)熱線桌上尺寸:500x600毫米。

AVI200-SAVI200-S的基本配置

包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,蕞大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負載。

為了使AVI200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。AVI200-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。

我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程技術(shù)指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-400千克(0-200千克單個元件) 示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的。

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使用說明書解鎖系統(tǒng)后,將設備放置在平坦且堅固的桌子上或地下。調(diào)整負載補償:將負載放在蕞上面,并使用以下三個調(diào)整負載補償側(cè)面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。沿+方向旋轉(zhuǎn)輪子以增加負載補償方向旋轉(zhuǎn)車輪以減少負載補償按下并檢查每個角是否有約0.5mm的自由移動。輕輕地上下拉頂板!更改負載后,檢查每個角是否自由移動!將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。按下背面的電源按鈕打開設備“POWER”LED將點亮,而“ACTIVE”LED開始閃爍。大約30秒鐘后,“活動”LED將保持點亮狀態(tài),并且系統(tǒng)現(xiàn)在可以使用了。您可以通過按“啟用”按鈕來打開和關(guān)閉活動隔離。使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關(guān)可以選擇不同的激勵方向。晶圓片隔振臺質(zhì)量怎么樣

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。晶圓片隔振臺質(zhì)量怎么樣

將手輕輕放在桌面上。上方區(qū)塊中的一個或多個LED可能會亮起,指示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果你現(xiàn)在在桌面上施加很大的力,所有過載燈都會亮起,并且隔離指示燈將閃爍幾秒鐘,表明系統(tǒng)暫時不再隔離,直到過載消除(待機模式)。消除過載后,隔離燈應再次亮起,系統(tǒng)開始隔離。某些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段系統(tǒng)正在隔離-但增益降低。嚴重過載后,系統(tǒng)可能需要半個小時分鐘即可達到完全隔離,但通常只需要幾秒鐘。注意:在正常使用中,隔離開關(guān)可能會保持在ON位置(黑色旋鈕在里面)。上接通電源后,黃色指示燈將首先閃爍,表明系統(tǒng)處于待機狀態(tài)模式。大約30秒鐘后,指示燈停止閃爍并保持點亮狀態(tài),表明系統(tǒng)處于隔離。晶圓片隔振臺質(zhì)量怎么樣

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