Filmetrics F10-RT膜厚儀值得買

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-21

非晶態(tài)多晶硅硅元素以非晶和晶體兩種形式存在,在兩級(jí)之間是部分結(jié)晶硅。部分結(jié)晶硅又被叫做多晶硅。非晶硅和多晶硅的光學(xué)常數(shù)(n和k)對(duì)不同沉積條件是獨(dú)特的,必須有精確的厚度測(cè)量。測(cè)量厚度時(shí)還必須考慮粗糙度和硅薄膜結(jié)晶可能的風(fēng)化。Filmetrics設(shè)備提供的復(fù)雜的測(cè)量程序同時(shí)測(cè)量和輸出每個(gè)要求的硅薄膜參數(shù),并且“一鍵”出結(jié)果。測(cè)量范例多晶硅被廣范用于以硅為基礎(chǔ)的電子設(shè)備中。這些設(shè)備的效率取決于薄膜的光學(xué)和結(jié)構(gòu)特性。隨著沉積和退火條件的改變,這些特性隨之改變,所以準(zhǔn)確地測(cè)量這些參數(shù)非常重要。監(jiān)控晶圓硅基底和多晶硅之間,加入二氧化硅層,以增加光學(xué)對(duì)比,其薄膜厚度和光學(xué)特性均可測(cè)得。F20可以很容易地測(cè)量多晶硅薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),以及二氧化硅夾層厚度。Bruggeman光學(xué)模型被用來(lái)測(cè)量多晶硅薄膜光學(xué)特性。FSM413SP半自動(dòng)機(jī)臺(tái)人工取放芯片。Filmetrics F10-RT膜厚儀值得買

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測(cè)量眼科設(shè)備涂層厚度光譜反射率可用于測(cè)量眼鏡片減反射(AR)光譜和殘余顏色,以及硬涂層和疏水層的厚度。減反涂層減反涂層用來(lái)減少眩光以及無(wú)涂層鏡片導(dǎo)致的眼睛疲勞。減反鏡片的藍(lán)綠色彩也吸引了眾多消費(fèi)者。因此,測(cè)量和控制減反涂層及其色彩就變得越來(lái)越重要了。FilmetricsF10-AR是專門為各類眼鏡片設(shè)計(jì)的,配備多種獨(dú)特功能用于減反涂層檢測(cè)。硬涂層硬涂層用來(lái)增加抗劃痕和抗紫外線的能力。在鏡片上涂抹硬涂層,就提供了這種保護(hù),而減反涂層則是不太柔軟的較硬鍍層。FilmetricsF10-AR配備了硬涂層測(cè)量升級(jí)軟件??梢詼y(cè)量厚達(dá)15微米的一層或兩層硬涂層。疏水層疏水涂層使減反鏡片具有對(duì)水和油排斥的屬性,使它們易于清潔。這些涂層都是特別薄的–只有一百個(gè)原子的數(shù)量級(jí)–因此需要短波(紫外線)光來(lái)精確測(cè)量。測(cè)量疏水層厚度的蕞佳儀器就是配備了UPG-F10-AR-d和UPG-F10-RT-nk升級(jí)軟件的F10-AR-UV。鏡片的穿透率測(cè)量F10-AR可選購(gòu)SS-Trans-Curved樣品臺(tái)用于測(cè)量鏡片的穿透率。Filmetrics F50膜厚儀有哪些應(yīng)用F20-EXR測(cè)厚范圍:15nm - 250μm;波長(zhǎng):380-1700nm。

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硬涂層厚度測(cè)量Filmetrics系統(tǒng)在汽車和航空工業(yè)得到廣泛應(yīng)用,用于測(cè)量硬涂層和其他保護(hù)性薄膜的厚度。F10-HC是為彎曲表面和多層薄膜(例如,底涂/硬涂層)而專門設(shè)計(jì)的。汽車前燈在汽車前燈組件的制造中需要進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,因?yàn)橥繉雍穸葘?duì)于品質(zhì)至關(guān)重要。外側(cè)硬涂層和聚碳酸酯鏡頭內(nèi)側(cè)的防霧層以及反射器上的涂層的厚度都是很重要的。這些用途中的每一項(xiàng)是特殊的挑戰(zhàn),而Filmetrics已經(jīng)開發(fā)出軟件、硬件和應(yīng)用知識(shí)以便為用戶提供正確的解決方案。測(cè)量范例帶HC選項(xiàng)的F10-AR收集測(cè)量厚度的反射率信息。這款儀器采用光學(xué)接觸探頭,它的設(shè)計(jì)降低了背面反射。接觸探頭安置在亞克力表明。FILMeature軟件自動(dòng)分析收集的光譜信息,給出涂層厚度。在這個(gè)例子中,亞克力板上還有一層與硬涂層折射率非常近似的底漆。

F10-HC輕而易舉而且經(jīng)濟(jì)有效地分析單層和多層硬涂層F10-HC以FilmetricsF20平臺(tái)為基礎(chǔ),根據(jù)光譜反射數(shù)據(jù)分析快速提供薄膜測(cè)量結(jié)果。F10-HC先進(jìn)的模擬算法是為測(cè)量聚碳酸酯和其它單層和多層硬涂層(例如,底涂/硬涂層)專門設(shè)計(jì)的。全世界共有數(shù)百臺(tái)F10-HC儀器在工作,幾乎所有主要汽車硬涂層公司都在使用它們。像我們所有的臺(tái)式儀器一樣,F(xiàn)10-HC可以連接到您裝有Windows計(jì)算機(jī)的USB端口并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)定。包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure8軟件FILMeasure讀立軟件(用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)CP-1-1.3探頭BK7參考材料TS-Hardcoat-4um厚度標(biāo)準(zhǔn)備用燈額外的好處:應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃。不同的 F50 儀器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來(lái)加以區(qū)分的。

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F60系列包含的內(nèi)容:集成平臺(tái)/光譜儀/光源裝置(不含平臺(tái))4",6"and200mm參考晶圓TS-SiO2-4-7200厚度標(biāo)準(zhǔn)真空泵備用燈型號(hào)厚度范圍*波長(zhǎng)范圍F60-t:20nm-70μm380-1050nmF60-t-UV:5nm-40μm190-1100nmF60-t-NIR:100nm-250μm950-1700nmF60-t-EXR:20nm-250μm380-1700nmF60-t-UVX:5nm-250μm190-1700nmF60-t-XT0:2μm-450μm1440-1690nmF60-t-s980:4μm-1mm960-1000nmF60-t-s1310:7μm-2mm1280-1340nmF60-t-s1550:10μm-3mm1520-1580nm額外的好處:每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過(guò)130種材料庫(kù),隨著不同應(yīng)用更超過(guò)數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃F3-sX系列使用近紅外光來(lái)測(cè)量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來(lái)不透光(例如半導(dǎo)體)。半導(dǎo)體薄膜膜厚儀值得買

F30樣品層:分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積: 可以測(cè)量平滑和半透明的,或輕度吸收的薄膜。Filmetrics F10-RT膜厚儀值得買

F3-sX系列:F3-sX系列能測(cè)量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳波長(zhǎng)選配F3-sX系列使用近紅外光來(lái)測(cè)量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來(lái)不透光(例如半導(dǎo)體)。F3-s980是波長(zhǎng)為980奈米的版本,是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),F3-s1310是針對(duì)重?fù)诫s硅片的蕞jia化設(shè)計(jì),F3-s1550則是為了蕞厚的薄膜設(shè)計(jì)。附件附件包含自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái),一個(gè)影像鏡頭可看到量測(cè)點(diǎn)的位置以及可選配可見(jiàn)光波長(zhǎng)的功能使厚度測(cè)量能力蕞薄至15奈米。Filmetrics F10-RT膜厚儀值得買

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。岱美中國(guó)是一家其他有限責(zé)任公司企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù),持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),具有半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x等多項(xiàng)業(yè)務(wù)。岱美中國(guó)自成立以來(lái),一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。