輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別:關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機,就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊,這樣既可以測量輪廓尺寸,又可以測量粗糙度,市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當然也有臺式的。輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。高校輪廓儀保修期多久
滿足您需求的輪廓儀使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護性:非接觸式光學輪廓儀耐用性更強,使用無損可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)個性化:定制化客戶報告模式更好用戶體驗:迅捷的售后服務(wù),個性化應(yīng)用軟件支持1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準,具有穩(wěn)定性好、承載大、勇不磨損等優(yōu)點,達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò))半導體輪廓儀質(zhì)量怎么樣在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當然也有臺式的。
輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學輪廓儀的資訊,請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣,標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng)。
輪廓儀的功能:廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。如果您想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。
輪廓儀的主要客戶群體300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化國家重點實驗室高效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化超高精密表面工程技術(shù)輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡(luò))NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準確度<1% ;重復性<0.1% (1σ,10um臺階高)。芯片輪廓儀質(zhì)保期多久
輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。高校輪廓儀保修期多久
NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(1):測量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍:大行程PZT掃描(300um標配/500um選配)10mm精密電機拓展掃描CCD相機:1920x1200高速相機(標配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng):高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))3D測量主要技術(shù)指標(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測量范圍:0.1nm–10mm表面反射率:>0.5%測量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準確度<1nmRMS重復性<0.01nm(1σ)臺階高重復性:0.15nm(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<0.5nm準確度<1%重復性<0.1%(1σ,10um臺階高)高校輪廓儀保修期多久
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