白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡:干涉面成像,多層垂直掃描蕞好高度測(cè)量精度:<1nm高度精度不受物鏡影響性價(jià)比好激光共聚焦3D顯微鏡:點(diǎn)掃描合成面成像,多層垂直掃描Keyence(日本)蕞好高度測(cè)量精度:~10nm高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍90萬-130萬三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測(cè)量,測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,臺(tái)階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。(來自網(wǎng)絡(luò))輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度。三維輪廓儀免稅價(jià)格
NanoX-80003D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1):測(cè)量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測(cè)量范圍:大行程PZT掃描(300um標(biāo)配/500um選配)10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī):1920x1200高速相機(jī)(標(biāo)配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標(biāo)配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動(dòng)鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦照明系統(tǒng):高效長(zhǎng)壽白光LED+濾色鏡片電動(dòng)切換(綠色/藍(lán)色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測(cè)量范圍:0.1nm–10mm表面反射率:>0.5%測(cè)量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準(zhǔn)確度<1nmRMS重復(fù)性<0.01nm(1σ)臺(tái)階高重復(fù)性:0.15nm(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<0.5nm準(zhǔn)確度<1%重復(fù)性<0.1%(1σ,10um臺(tái)階高)微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器輪廓儀技術(shù)服務(wù)產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量)(掃描范圍 50um)。
強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換光機(jī)電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時(shí)更新縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀個(gè)性化軟件應(yīng)用支持可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BDMedicalInstrument)光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。
輪廓儀的性能測(cè)量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺(tái):150mm/200mm/300mm樣品臺(tái)(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)CCD相機(jī)像素:標(biāo)配:1280×960視場(chǎng)范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及CCD相機(jī)光學(xué)系統(tǒng):同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動(dòng)聚焦(可選電動(dòng)聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,拓展達(dá)10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm,1σ臺(tái)階測(cè)量**準(zhǔn)確度≤0.75%;重復(fù)性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測(cè)速度≤35um/sec,與所選的CCD輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測(cè),硅片外延表面缺 陷檢測(cè)。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量?;裘窢栞喞獌x推薦產(chǎn)品
輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件。三維輪廓儀免稅價(jià)格
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測(cè)量應(yīng)用測(cè)試案例測(cè)量種類?基板ASoldMask3D形貌、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞**維輪廓儀免稅價(jià)格
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來、有夢(mèng)想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的儀器儀表行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**岱美儀器技術(shù)服務(wù)供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績(jī),一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實(shí)守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場(chǎng),我們一直在路上!