NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數據存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數據可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數由于能更權面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。材料表面輪廓儀可以試用嗎
輪廓儀的自動拼接功能:條件:被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接。需要點擊自動拼接,輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。軟件會自適應計算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,減小誤差。但是誤差是一定存在的。白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。3D形貌輪廓儀可以免稅嗎NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度 1um。
輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數曲線。白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數據存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數據可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細參數,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。我們主要經營鍵合機、光刻機、輪廓儀,隔振臺等設備。白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數分析:表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數,無論加工的物件使用哪一種評定標準,都可以提供權面的檢測結果作為評定依據,可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數。四、穩(wěn)定性強,高重復性:儀器運用高性能內部抗震設計,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,保證高重復性,將測量誤差降低到亞納米級別。三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,它既保障了生產加工的準確性,又提高了成品的出產效率,滿足用戶對各項2D,3D參數檢測需求的同時,依然能夠保持高重復性,高穩(wěn)定性的運行,其對精密加工所產生的的作用是舉足輕重的。測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。自動測量輪廓儀特點
由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。材料表面輪廓儀可以試用嗎
NanoX-系列輪廓儀代表性客戶?集成電路相關產業(yè)–集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯半導體,華潤安盛等?MEMS相關產業(yè)–中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等?高效太陽能電池相關產業(yè)–常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等?微電子、FPD、PCB等產業(yè)–三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動聚焦范圍:±0.3mmXY運動速度**快如果有什么問題,請聯系我們。材料表面輪廓儀可以試用嗎
岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家從事半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀研發(fā)、生產、銷售及售后的貿易型企業(yè)。公司坐落在金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07。公司通過創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念,以客戶滿意為重要標準。在孜孜不倦的奮斗下,公司產品業(yè)務越來越廣。目前主要經營有半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產品,并多次以儀器儀表行業(yè)標準、客戶需求定制多款多元化的產品。岱美儀器技術服務(上海)有限公司每年將部分收入投入到半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品開發(fā)工作中,也為公司的技術創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動作用。公司在長期的生產運營中形成了一套完善的科技激勵政策,以激勵在技術研發(fā)、產品改進等。半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品滿足客戶多方面的使用要求,讓客戶買的放心,用的稱心,產品定位以經濟實用為重心,公司真誠期待與您合作,相信有了您的支持我們會以昂揚的姿態(tài)不斷前進、進步。