粗糙度輪廓儀現(xiàn)場服務(wù)

來源: 發(fā)布時間:2022-11-10

NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),使用無損可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。粗糙度輪廓儀現(xiàn)場服務(wù)

粗糙度輪廓儀現(xiàn)場服務(wù),輪廓儀

輪廓儀的功能:廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。如果您想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。白光干涉輪廓儀有哪些品牌隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。

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   新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負(fù)擔(dān)*后,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,也包括軟件功能用于形貌分析,如形狀去除和波長過濾,都包含在基film3D軟件。對于更進(jìn)階的功能,F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù),這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能?每film3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,可達(dá)%準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本。

輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。自動聚焦范圍 : ± 0.3mm。

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輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測?;裘窢栞喞獌x有哪些應(yīng)用

由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。粗糙度輪廓儀現(xiàn)場服務(wù)

是一家專業(yè)致力于半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀的研發(fā)和制造企業(yè),所有產(chǎn)品均采用更先進(jìn)的技術(shù)和工藝制造。涵蓋了該國際標(biāo)準(zhǔn)在結(jié)構(gòu)、資源、技術(shù)、體系等方面的全部要求。其發(fā)布與實(shí)施將進(jìn)一步促進(jìn)我國標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制(生產(chǎn))機(jī)構(gòu)管理體系的規(guī)范化運(yùn)行,確保標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)質(zhì)量。半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀可分為通用型和專業(yè)型,通用型儀表主要包括工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造、電工儀器儀表、繪圖、計算及測量儀器、實(shí)驗(yàn)分析儀器、試驗(yàn)機(jī)制造、供應(yīng)用儀器儀表、其他通用儀器;其次,我國的新型工業(yè)化進(jìn)程,帶動了各個工業(yè)領(lǐng)域?qū)ψ詣踊男枨?,從而也帶來了儀器儀表產(chǎn)業(yè)的繁榮。我國對于各大行業(yè)落實(shí)節(jié)能減排指標(biāo)、關(guān)停落后產(chǎn)能等一系列強(qiáng)制性措施都在一定程度上擴(kuò)大了儀器儀表行業(yè)的市場規(guī)模。經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展推動了我國儀器儀表市場的持續(xù)增長,很多第三方檢測機(jī)構(gòu)都面臨著實(shí)驗(yàn)室擴(kuò)增、新建實(shí)驗(yàn)室和老舊儀器淘汰問題。通過靈活應(yīng)對現(xiàn)金流的問題,做到平衡資金和發(fā)展以取得更高的企業(yè)競爭優(yōu)勢。粗糙度輪廓儀現(xiàn)場服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司正式組建于2002-02-07,將通過提供以半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。旗下EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB在儀器儀表行業(yè)擁有一定的地位,品牌價值持續(xù)增長,有望成為行業(yè)中的佼佼者。我們在發(fā)展業(yè)務(wù)的同時,進(jìn)一步推動了品牌價值完善。隨著業(yè)務(wù)能力的增長,以及品牌價值的提升,也逐漸形成儀器儀表綜合一體化能力。岱美中國始終保持在儀器儀表領(lǐng)域優(yōu)先的前提下,不斷優(yōu)化業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀等領(lǐng)域承攬了一大批高精尖項(xiàng)目,積極為更多儀器儀表企業(yè)提供服務(wù)。