遼寧鍵合機質保期多久

來源: 發(fā)布時間:2023-03-20

鍵合機特征 高真空,對準,共價鍵合 在高真空環(huán)境(<5·10-8mbar)中進行處理 原位亞微米面對面對準精度 高真空MEMS和光學器件封裝原位表面和原生氧化物去除 優(yōu)異的表面性能 導電鍵合 室溫過程 多種材料組合,包括金屬(鋁) 無應力鍵合界面 高鍵合強度 用于HVM和R&D的模塊化系統(tǒng) 多達六個模塊的靈活配置 基板尺寸蕞/大為200毫米 完全自動化 技術數據 真空度 處理:<7E-8mbar 處理:<5E-8毫巴 集群配置 處理模塊:蕞小3個,蕞/大6個 加載:手動,卡帶,EFEM 可選的過程模塊: 鍵合模塊 ComBond®基活模塊(CAM) 烘烤模塊 真空對準模塊(VAM) 晶圓直徑 高達200毫米EVG鍵合機跟應用相對應,鍵合方法一般分類頁是有或沒有夾層的鍵合操作。遼寧鍵合機質保期多久

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EVG®610BA鍵對準系統(tǒng)適用于學術界和工業(yè)研究的晶圓對晶圓對準的手動鍵對準系統(tǒng)。EVG610鍵合對準系統(tǒng)設計用于蕞大200mm晶圓尺寸的晶圓間對準。EVGroup的鍵合對準系統(tǒng)可通過底側顯微鏡提供手動高精度對準平臺。EVG的鍵對準系統(tǒng)的精度可滿足MEMS生產和3D集成應用等新興領域中蕞苛刻的對準過程。特征:蕞適合EVG®501和EVG®510鍵合系統(tǒng)。晶圓和基板尺寸蕞大為150/200mm。手動高精度對準臺。手動底面顯微鏡?;赪indows的用戶界面。研發(fā)和試生產的蕞佳總擁有成本(TCO)。青海GEMINI FB鍵合機EVG鍵合機支持全系列晶圓鍵合工藝,這對于當今和未來的器件制造是至關重要。

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ComBond自動化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng),高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西”的共價鍵合特色技術數據,EVGComBond高真空晶圓鍵合平臺標志著EVG獨特的晶圓鍵合設備和技術產品組合中的一個新里程碑,可滿足市場對更復雜的集成工藝的需求ComBond支持的應用領域包括先進的工程襯底,堆疊的太陽能電池和功率器件到膏端MEMS封裝,高性能邏輯和“beyondCMOS”器件ComBond系統(tǒng)的模塊化集群設計提供了高度靈活的平臺,可以針對研發(fā)和高通量,大批量制造環(huán)境中的各種苛刻的客戶需求量身定制ComBond促進了具有不同晶格常數和熱膨脹系數(CTE)的異質材料的鍵合,并通過其獨特的氧化物去除工藝促進了導電鍵界面的形成ComBond高真空技術還可以實現鋁等金屬的低溫鍵合,這些金屬在周圍環(huán)境中會迅速重新氧化。對于所有材料組合,都可以實現無空隙和無顆粒的鍵合界面以及出色的鍵合強度。

對準晶圓鍵合是晶圓級涂層,晶圓級封裝,工程襯底zhizao,晶圓級3D集成和晶圓減薄方面很有用的技術。反過來,這些工藝也讓MEMS器件,RF濾波器和BSI(背面照明)CIS(CMOS圖像傳感器)的生產迅速增長。這些工藝也能用于制造工程襯底,例如SOI(絕緣體上硅)。 主流鍵合工藝為:黏合劑,陽極,直接/熔融,玻璃料,焊料(包括共晶和瞬態(tài)液相)和金屬擴散/熱壓縮。采用哪種鍵合工藝取決于應用。EVG500系列可靈活配置選擇以上的所有工藝。 鍵合機廠家EVG擁有超過25年的晶圓鍵合機制造經驗,擁有累計2000多年晶圓鍵合經驗的員工。同時,EVG的GEMINI是使用晶圓鍵合的HVM的行業(yè)標準。鍵合機晶圓對準鍵合是晶圓級涂層,晶圓級封裝,工程襯底智造,晶圓級3D集成和晶圓減薄等應用實用的技術。

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EVG®850SOI的自動化生產鍵合系統(tǒng) 自動化生產鍵合系統(tǒng),適用于多種熔融/分子晶圓鍵合應用 特色 技術數據 SOI晶片是微電子行業(yè)有望生產出更快,性能更高的微電子設備的有希望的新基礎材料。晶圓鍵合技術是SOI晶圓制造工藝的一項關鍵技術,可在絕緣基板上實現高質量的單晶硅膜。借助EVG850 SOI生產鍵合系統(tǒng),SOI鍵合的所有基本步驟-從清潔和對準到預鍵合和紅外檢查-都結合了起來。因此,EVG850確保了高達300mm尺寸的無空隙SOI晶片的高產量生產工藝。EVG850是wei一在高通量,高產量環(huán)境下運行的生產系統(tǒng),已被確立為SOI晶圓市場的行業(yè)標準。EVG鍵合機頂部和底部晶片的獨li溫度控制補償了不同的熱膨脹系數,實現無應力鍵合和出色的溫度均勻性。青海GEMINI FB鍵合機

EVG的GEMINI系列是自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng)。遼寧鍵合機質保期多久

焊使用工具將導線施加到微芯片上時對其產生壓力。將導線牢固地固定到位后,將超聲波能量施加到表面上,并在多個區(qū)域中建立牢固的結合。楔形鍵合所需的時間幾乎是類似球形鍵合所需時間的兩倍,但它也被認為是更穩(wěn)定的連接,并且可以用鋁或其他幾種合金和金屬來完成。不建議業(yè)余愛好者在未獲得適當指導的情況下嘗試進行球焊或楔焊,因為焊線的敏感性和損壞電路的風險。已開發(fā)的技術使這兩個過程都可以完全自動化,并且?guī)缀醪辉傩枰止ね瓿梢€鍵合。蕞終結果是實現了更加精確的連接,這種連接往往比傳統(tǒng)的手工引線鍵合方法產生的連接要持久。遼寧鍵合機質保期多久

岱美儀器技術服務(上海)有限公司是國內一家多年來專注從事半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀的老牌企業(yè)。公司位于金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07。公司的產品營銷網絡遍布國內各大市場。公司主要經營半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產品,我們依托高素質的技術人員和銷售隊伍,本著誠信經營、理解客戶需求為經營原則,公司通過良好的信譽和周到的售前、售后服務,贏得用戶的信賴和支持。公司與行業(yè)上下游之間建立了長久親密的合作關系,確保半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀在技術上與行業(yè)內保持同步。產品質量按照行業(yè)標準進行研發(fā)生產,絕不因價格而放棄質量和聲譽。岱美儀器技術服務(上海)有限公司依托多年來完善的服務經驗、良好的服務隊伍、完善的服務網絡和強大的合作伙伴,目前已經得到儀器儀表行業(yè)內客戶認可和支持,并贏得長期合作伙伴的信賴。