德國隔振臺大型半導體設備防震臺應用

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用在前饋回路中，以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水平隔離（可傳輸性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進行測量，增益設置為128（V）和150（H）。輸入電壓：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦頻率范圍：0.2-20Hz尺寸傳感器：255x245x107mm（長x寬x高）電源尺寸：265x155x73mm（長x寬x高）重量傳感器：5.9kg供電重量：1.6kg應用：室內防護等級：IP20溫度范圍：5°C-40°C相對濕度：10–90%（5–30°C）使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關可以來選擇不同的激勵方向。德國隔振臺大型半導體設備防震臺應用

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀納米技術(即先進的半導體帶表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產(chǎn)),振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術中，為了獲得可靠的結果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。先進的主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。裝載設備：掃描電子顯微鏡，如AFM3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統(tǒng)，顯微硬度測量儀，醫(yī)療檢測設備等。德國隔振臺大型半導體設備防震臺應用AVI系列產(chǎn)品在振動加速度上的隔振效果。

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力，所有過載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過載解除（待機模式）之前暫時不再隔離。卸下過載后，隔離燈應再次亮起，系統(tǒng)開始隔離。一些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴重過載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度（透射率）有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)？傳感器LFS-2具有單獨的電源，該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要，但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關可以選擇不同的激勵方向。

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點很重要！LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確，請按照下列步驟操作：面向LFS傳感器的藍色LED站立。將弟一個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持蕞良好的隔振狀態(tài)。AVI-200XLP隔振臺電子顯微鏡STM

勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器。德國隔振臺大型半導體設備防震臺應用

AVI主動隔震臺AVI應用于掃描電鏡1、如有可能，拆下掃描電鏡柱的側板。2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木塊以增加高度。3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓（如有必要）。4、將弟一個鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落，確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平，則使用墊片確保水平，并在各側均勻地放置在地面上。如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。德國隔振臺大型半導體設備防震臺應用

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