德國(guó)隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中，以提高極低頻時(shí)的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測(cè)量的垂直和水平隔離（可傳輸性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進(jìn)行測(cè)量，增益設(shè)置為128（V）和150（H）。輸入電壓：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦頻率范圍：0.2-20Hz尺寸傳感器：255x245x107mm（長(zhǎng)x寬x高）電源尺寸：265x155x73mm（長(zhǎng)x寬x高）重量傳感器：5.9kg供電重量：1.6kg應(yīng)用：室內(nèi)防護(hù)等級(jí)：IP20溫度范圍：5°C-40°C相對(duì)濕度：10–90%（5–30°C）使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無(wú)需單獨(dú)的電源。通過(guò)模式開(kāi)關(guān)可以來(lái)選擇不同的激勵(lì)方向。德國(guó)隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

TS主動(dòng)隔振臺(tái)在3D空間的6個(gè)自由度中主動(dòng)式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體帶表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)),振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測(cè)量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無(wú)法隔離低頻振動(dòng)，此時(shí)需要主動(dòng)隔離。先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測(cè)量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。裝載設(shè)備：掃描電子顯微鏡，如AFM3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測(cè)量系統(tǒng)，顯微硬度測(cè)量?jī)x，醫(yī)療檢測(cè)設(shè)備等。德國(guó)隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用AVI系列產(chǎn)品在振動(dòng)加速度上的隔振效果。

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力，所有過(guò)載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過(guò)載解除（待機(jī)模式）之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系統(tǒng)開(kāi)始隔離。一些過(guò)載LED可能會(huì)亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個(gè)階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴(yán)重過(guò)載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。

LFS-2傳感器測(cè)量?jī)蓚€(gè)軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測(cè)得的水平隔離度（透射率）有和沒(méi)有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)？傳感器LFS-2具有單獨(dú)的電源，該電源通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個(gè)AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實(shí)際位置并不重要，但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無(wú)需單獨(dú)的電源。通過(guò)模式開(kāi)關(guān)可以選擇不同的激勵(lì)方向。

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點(diǎn)很重要！LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開(kāi)關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確，請(qǐng)按照下列步驟操作：面向LFS傳感器的藍(lán)色LED站立。將弟一個(gè)AVI元素連接到以下任意一個(gè)后面板上的12個(gè)D-Sub15插座。用筆滑動(dòng)開(kāi)關(guān)在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開(kāi)關(guān)位置對(duì)于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離。測(cè)振傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力，以保持蕞良好的隔振狀態(tài)。AVI-200XLP隔振臺(tái)電子顯微鏡STM

勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。德國(guó)隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

AVI主動(dòng)隔震臺(tái)AVI應(yīng)用于掃描電鏡1、如有可能，拆下掃描電鏡柱的側(cè)板。2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木塊以增加高度。3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓（如有必要）。4、將弟一個(gè)鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落，確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平，則使用墊片確保水平，并在各側(cè)均勻地放置在地面上。如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。德國(guó)隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

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