襯底隔振臺應用

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標準AVI/LP系統結合使用在前饋回路中，以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現有的AVI/LP系統中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統上測量的垂直和水平隔離（可傳輸性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進行測量，增益設置為128（V）和150（H）。輸入電壓：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦頻率范圍：0.2-20Hz尺寸傳感器：255x245x107mm（長x寬x高）電源尺寸：265x155x73mm（長x寬x高）重量傳感器：5.9kg供電重量：1.6kg應用：室內防護等級：IP20溫度范圍：5°C-40°C相對濕度：10–90%（5–30°C）選擇隔振臺選擇岱美儀器。襯底隔振臺應用

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數量，可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI400-S適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能AVI400-S系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-S緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設備（例如SEM）時，避免了任何復雜的過程。技術指標：頻率：1,2-200Hz負載范圍：0-800公斤（單個）：400公斤浙江隔振臺廠家AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元，ZUI大可以負載400公斤。

使用AVI系統時，系統只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處，還是使用未接地的延長電纜，都不要斷開此接地。如果您懷疑系統以任何方式不安全，請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯系蕞近的服務中心。在打開此設備之前，請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進入通風槽。在取下任何蓋子之前，斷開電源。請向合格人員咨詢服務。不要在可能報炸的環(huán)境中使用。保險絲位于控制單元后側的電源插座中。未先拔下電源線，不要試圖更換保險絲。只能更換類型正確的保險絲。不要試圖繞過保險絲。確?？刂茊卧械耐L縫沒有被覆蓋，并且空氣可以自由循環(huán)。堵塞狹縫可能導致過熱，從而引發(fā)火災。對于控制單元和隔離元件之間的連接，瑾使用提供的D-Sub 15電纜（m/f）。

所有控制電路都內置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設計以實現對諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達到蕞終的性能。事實證明，該表在支持靈敏實驗（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。技術指標：頻率：1.2-300赫茲負載范圍：0-40公斤尺寸圖300x300x70毫米（長x寬x高）11.8x11.8x2.75英寸隔離：動態(tài)1.2Hz至300Hz，主要在較高頻率下為無源透射率：高于?10Hz的透射率<0.01（-40dB）矯正力：垂直±8N，水平±4N靜態(tài)合規(guī)性：27μm/N最大負載（中心負載）：40公斤88.18磅重量：9.2公斤20.3磅TableStable通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動。

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀納米技術(即先進的半導體帶表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產),振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術中，為了獲得可靠的結果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。先進的主動式隔振系統“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。裝載設備：掃描電子顯微鏡，如AFM3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統，顯微硬度測量儀，醫(yī)療檢測設備等。TS-140隔振臺結合了久經考驗的技術卓悅性與優(yōu)雅且對用戶友好的設計。半導體設備隔振臺有哪些應用

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。襯底隔振臺應用

傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器設置并將電源連接到傳感器后，系統即可使用。按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動?，F在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統。紅色的發(fā)光二極管不應該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統超載，建筑物內的振動太嚴重。襯底隔振臺應用

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